[发明专利]一种样品支撑柱安装结构

说明书

本发明提供了一种样品支撑柱安装结构，包括样品支撑柱、位移台，所述样品支撑柱与所述位移台可拆卸连接，所述样品支撑柱包括样品吸附端，所述样品支撑柱设置有第一导气孔，所述第一导气孔与所述样品吸附端气路连接；所述位移台设置有第二导气孔；所述第二导气孔、第一导气孔相互对位。

技术领域

本发明属于探针台技术领域，具体涉及一种样品支撑柱安装结构。

背景技术

探针台测试设备是一种应用广泛的非破坏性测试手段，可用于测试材料样品或器件的电学特性、光电特性、高频特性等方面的性能，在物理及半导体领域中的应用十分丰富。为了使探针组件能够伸出至被测位置，通常需要使探针组件尽可能接近被测位置；同时，由于探针组件通常需要配合相应的固定结构和移动结构，其需要具有必要的形状和体积。因而，可供被测样品放置和支撑的位置将被极大地限制。为了使被测样品保持在预设位置，一般需要通过支撑结构，将样品支撑至预设位置。

由于不同类型的待测样品所需的支撑结构存在差异，例如，测试芯片或封装器件时，还需要使支撑结构能够连接芯片或封装器件的引脚，使芯片或封装器件输入或输出信号，需要具有相应的引线结构；而对晶圆进行测试时，则无需连接引脚，无需相应的引线结构。由于芯片一般是通过焊接或绑线方式与支撑结构上预留的引脚连接，形成固定连接，因而在对不同的样品进行测试时，需要进行相应支撑结构的拆装，拆装需要在探针台其他组件形成的狭小空间内进行，拆装过程费时费力，大大降低了探针台的使用效率。因此，现有技术中的探针台设备，存在样品支撑结构更换费时费力的问题。

发明内容

针对现有技术存在的样品支撑结构更换费时费力的问题，本发明提供了一种样品支撑柱安装结构。

本发明提供了一种样品支撑柱安装结构，包括样品支撑柱、位移台，所述样品支撑柱与所述位移台可拆卸连接，所述样品支撑柱包括样品吸附端，所述样品支撑柱设置有第一导气孔，所述第一导气孔与所述样品吸附端气路连接；所述位移台设置有第二导气孔；所述第二导气孔、第一导气孔相互对位。

优选地，所述样品支撑柱还包括密封块，所述密封块设置于所述样品支撑柱与所述位移台的接触面上，所述密封块上设置有所述第一导气孔。

更进一步地，所述密封块与所述样品支撑柱之间设置有密封圈。

优选地，所述样品支撑柱除了能够进行样本的吸附外，还能够替换为能够与被测样本电连接的样品支撑柱。更进一步地，所述位移台还包括第二插接头，所述第二插接头设置于所述位移台的连接有所述样品支撑柱的面上。

可选地，所述密封块设置有插接头容纳腔，所述密封块的两端面相互封闭。

进一步优选地，所述样品支撑柱能够进行样本的吸附、与被测样本电连接，所述样品支撑柱还包括第一插接头，所述样品支撑柱还包括第一插接头，所述第二插接头被配置成能够与所述第一插接头插接的形式。

再进一步优选地，所述密封块设置有第一插接通孔，所述第一插接头与所述第一插接通孔插接并形成气密封。

优选地，所述样品支撑柱还包括连接板，所述连接板设置于所述样品支撑柱的靠近所述位移台一侧，所述连接板设置有螺钉容纳孔，所述位移台设置有螺纹孔，所述螺钉容纳孔与所述螺纹孔对位设置。

优选地，所述密封块设置有朝向所述样品支撑柱凸起的凸台，所述密封块的靠近所述位移台一侧还设置有插头容纳槽。

优选地，所述密封块设置有第一插接通孔，所述第一插接通孔贯穿所述密封块，所述第一插接头插入于所述第一插接通孔，所述第一插接头与所述第一插接通孔气密封。

优选地，所述位移台设置有第二插接孔，所述第二插接孔至少能够容纳所述第二插接头的接线端。

可选地，所述密封块的外部边缘不为圆形，所述密封块嵌入所述样品支撑柱。