[发明专利]镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

内壳体，所述内壳体的一端具有开口，所述内壳体内具有第一气体流道，所述第一气体流道的出气口位于所述内壳体的侧壁上，用于将气体通过所述第一气体流道的出气口输出至内壳体内；

喷淋板，所述喷淋板的喷淋孔向内壳体内输出气体。

2.根据权利要求1所述镀膜设备，其特征在于，

所述第一气体流道的出气口环绕设置于所述内壳体的侧壁，且邻近所述内壳体的开口端面。

3.根据权利要求2所述镀膜设备，其特征在于，

所述第一气体流道的出气口往所述内壳体内输出的气体形成气幕。

4.根据权利要求1所述镀膜设备，其特征在于，

所述内壳体内具有第二气体流道，所述第二气体流道的进气口位于所述内壳体的侧壁，所述第二气体流道的出气口位于所述内壳体的开口端面上。

5.根据权利要求1所述镀膜设备，其特征在于，包括：

第一管路，用于输入气体，所述第一管路的出气口与所述第一气体流道的进气口连通；

第二管路，用于输入气体，所述第二管路的出气口与所述第二气体流道的进气口连通。

6.根据权利要求4所述镀膜设备，其特征在于，包括：

外壳体，所述外壳体的一端具有开口；

所述内壳体设置于所述外壳体的内部，且所述内壳体的开口与所述外壳体的开口位于同侧；

封闭门，所述封闭门用于可选择地闭合所述外壳体的开口；

其中，所述喷淋板设置于所述封闭门上，所述喷淋板具有进气口，所述封闭门闭合所述外壳体的开口时，所述喷淋板闭合所述内壳体的开口且所述喷淋板的进气口与所述第二气体流道的出气口连通。

7.根据权利要求6所述镀膜设备，其特征在于，包括：

载具，所述载具位于所述内壳体内，用于承载产品，所述载具与所述内壳体之间具有间隙；

所述第一气体流道的出气口用于往所述内壳体与所述载具的间隙内输入气体，以阻挡所述喷淋孔输出的气体流入所述内壳体与所述载具的间隙内。

8.根据权利要求7所述镀膜设备，其特征在于，

所述第二管路包括两条支路，所述两条支路位于所述载具的同一侧；

所述第二气体流道为两个，所述两个第二气体流道的进气口位于载具的同一侧，与所述两条支路一一对应连通。

9.根据权利要求8所述镀膜设备，其特征在于，

所述第二管路为两个，分别位于所述载具的相背两侧；

所述第二气体流道为四个，与两个所述第一管路的所述支路一一对应连通；

两个所述第二管路连接不同的气源。

10.根据权利要求9所述镀膜设备，其特征在于，

所述产品垂直放置于所述载具上，所述产品平行于从所述喷淋孔输出的气体的流动方向。

11.根据权利要求10所述镀膜设备，其特征在于，

所述喷淋孔的喷射范围与所述载具垂直投影于所述喷淋板的形状大小相同。

12.根据权利要求6所述镀膜设备，其特征在于，包括：

第三管路，所述第三管路的出气口位于所述外壳体上，用于往所述内壳体与所述外壳体的间隙内输入气体。

13.根据权利要求6所述镀膜设备，其特征在于，

所述第一气体流道具有两个出气口，分别位于所述内壳体的外侧壁与内侧壁上，用于往所述内壳体与所述外壳体的间隙内输入气体和所述内壳体内输入气体。

14.根据权利要求6所述镀膜设备，其特征在于，包括：

挤压件，所述挤压件用于固定所述内壳体与所述外壳体的相对位置。