[发明专利]镀膜设备

说明书

本申请涉及机械设备技术领域，提供一种镀膜设备。镀膜设备包括包括内壳体、喷淋板。内壳体的一端具有开口。内壳体内具有第一气体流道，第一气体流道的出气口位于内壳体的侧壁上，用于将气体通过所述第一气体流道的出气口输出至内壳体内。喷淋板的喷淋孔向内壳体内输出气体。本申请能够从内壳体的侧壁上向内壳体内输出气体。

技术领域

本申请涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种镀膜设备。

背景技术

目前的原子层沉积(Atomic layer deposition，ALD)镀膜设备中，喷淋板设置于封闭门上，只有喷淋板往内壳体内输入气体。

发明内容

有鉴于此，本申请主要解决的技术问题是提供一种镀膜设备，能够从内壳体的侧壁上向内壳体内输出气体。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种镀膜设备，包括内壳体、喷淋板。内壳体的一端具有开口。内壳体内具有第一气体流道，第一气体流道的出气口位于内壳体的侧壁上，用于将气体通过第一气体流道的出气口输出至内壳体内。喷淋板的喷淋孔向内壳体内输出气体。

本申请的一些实施例中，第一气体流道的出气口环绕设置于内壳体的侧壁，且邻近内壳体的开口端面。

本申请的一些实施例中，第一气体流道的出气口往内壳体内输入的气体形成气幕。

本申请的一些实施例中，内壳体内具有第二气体流道。第二气体流道的进气口位于内壳体的侧壁，第二气体流道的出气口位于内壳体的开口端面上。

本申请的一些实施例中，镀膜设备第一管路和第二管路。第一管路用于输入气体。第一管路的出气口与第一气体流道的进气口连通。第二管路用于输入气体。第二管路的出气口与第二气体流道的进气口连通。

本申请的一些实施例中，镀膜设备包括外壳体、封闭门。外壳体的一端具有开口。内壳体设置于外壳体的内部，且内壳体的开口与外壳体的开口位于同侧。封闭门用于可选择地闭合外壳体的开口。其中，喷淋板设置于封闭门上。喷淋板具有进气口。封闭门闭合外壳体的开口时，喷淋板闭合内壳体的开口且喷淋板的进气口与第二气体流道的出气口连通。

本申请的一些实施例中，镀膜设备包括载具。载具位于内壳体内，用于承载产品，载具与内壳体之间具有间隙。第一气体流道的出气口用于往内壳体与载具的间隙内输入气体，以阻挡喷淋孔输出的气体流入内壳体与载具的间隙内。

本申请的一些实施例中，第二管路包括两条支路，两条支路位于载具的同一侧。第二气体流道为两个，两个第二气体流道的进气口位于载具的同一侧，与两条支路一一对应连通。

本申请的一些实施例中，第二管路为两个，分别位于载具的相背两侧。第二气体流道为四个，与两个第一管路的支路一一对应连通。两个第二管路连接不同的气源。

本申请的一些实施例中，产品垂直放置于载具上。产品平行于从喷淋孔输出的气体的流动方向。

本申请的一些实施例中，喷淋孔的喷射范围与载具垂直投影于喷淋板的形状大小相同。

本申请的一些实施例中，镀膜设备包括第三管路。第三管路的出气口位于外壳体上，用于往内壳体与外壳体的间隙内输入气体。

本申请的一些实施例中，第一气体流道具有两个出气口，分别位于内壳体的外侧壁与内侧壁上，用于往内壳体与所述外壳体的间隙内输入气体和内壳体内输入气体。

本申请的一些实施例中，镀膜设备包括挤压件。挤压件用于固定内壳体与外壳体的相对位置。

本申请的一些实施例中，镀膜设备包括连接轴和弹簧。其中，喷淋板和封闭门中的至少一者设有滑动孔/槽，连接轴的至少一端能够在滑动孔/槽滑动。弹簧套设于连接轴，且位于喷淋板和封闭门之间。喷淋板与封闭门通过连接轴和弹簧弹性连接且间距能够变化。