[发明专利]一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构

说明书

本发明公开了一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，包括提篮和料片取放料机构，所述料片取放料机构设置于提篮一侧，且提篮顶部滑动有料片篮并水平设置，所述料片取放料机构底部水平设置有铁质晶圆承载片，且提篮远离料片取放料机构的一侧两端均设有晶圆承载贴片，所述料片取放料机构上设有铁原片取放料机构，所述铁原片取放料机构包括导向件。本发明料片前段插入提篮之后，分离机构使料片与磁铁条分离，此外，分离机构的末端加入一个弹性机构，保证料片进入提篮并与提篮内侧平齐，吸附机构(磁铁条)：晶圆承载铁片采用一个吸附组件，吸附组件可实现自动归中，再配合导向件的作用，可在料片提篮中精准取料。

技术领域

本发明涉及取放料机构技术领域，尤其涉及一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

现有的晶圆承载铁原片的取放料机构，在取料时往往会发生偏移，不具有精准取料的功能，容易造成无法取料的情况发生，因此，亟需解决这一问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构，包括提篮和料片取放料机构，所述料片取放料机构设置于提篮一侧，且提篮顶部滑动有料片篮并水平设置，所述料片取放料机构底部水平设置有铁质晶圆承载片，且提篮远离料片取放料机构的一侧两端均设有晶圆承载贴片，所述料片取放料机构上设有铁原片取放料机构。

作为本发明的进一步技术方案，所述铁原片取放料机构包括导向件，且导向件有两个并分别安装于料片取放料机构底部两端，两个所述导向件均水平设置。

作为本发明的进一步技术方案，所述料片取放料机构底部中心处还水平安装有同步皮带动力系统，且两个导向件对立的侧面均安装有分离机构，两个所述导向件之间水平设置有磁铁条。

作为本发明的进一步技术方案，两个所述分离机构内部均水平安装有推杆电机，且两个推杆电机顶端均安装有弹性自适应机构，且料片取放料机构底部一端安装有收料和释放机构。

本发明的有益效果：

1.本发明，放料分离机构：料片前段插入提篮之后，分离机构使料片与磁铁条分离，此外，分离机构的末端加入一个弹性机构，保证料片进入提篮并与提篮内侧平齐。

2.本发明，吸附机构(磁铁条)：晶圆承载铁片采用一个吸附组件，吸附组件可实现自动归中，再配合导向件的作用，可在料片提篮中精准取料。

3.本发明，动力机构：取料机构采用电机同步带动力(以及丝杠电机动力传输结构等)，在进入导向件之后完整的进入取料机构，此外，结构采用碳纤维材料等轻型高强度材料，提高强度同时并降低了重量。

附图说明

图1是根据本发明的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构的结构示意图；

图2是根据本发明的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构的俯视图；

图3是根据本发明的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构的侧面仰视图；

图4是根据本发明的一种提篮中晶圆承载铁原片的取放料机构的料片取放料机构仰视图。

图中：1、提篮；2、晶圆承载贴片；3、导向件；4、同步皮带动力系统；5、料片篮；6、铁质晶圆承载片；7、料片取放料机构；8、弹性自适应机构；9、分离机构；10、收料和释放机构；11、推杆电机；12、磁铁条。

具体实施方式