[发明专利]转架位置异常的检测方法与检测装置

说明书

本公开实施例提供了一种转架位置异常的检测方法与检测装置，该检测方法包括：获取转架在检测位置时的图像；从所述图像中提取所述转架的第一特征线；从所述图像中提取机械手的第二特征线；确定所述第一特征线和第二特征线的夹角，并判断所述夹角是否大于等于预设夹角；若所述夹角大于所述预设夹角，则判断所述转架的位置异常。本公开提供的转架位置异常的检测方法，能够检测转架的状态是否异常。

技术领域

本公开涉及镀膜设备技术领域，具体而言，涉及一种转架位置异常的检测方法与机械手位置异常的检测装置。

背景技术

常见的镀膜机具有自动上下片功能，通常包括装载腔、传输腔和工艺腔。传输腔有一真空机械手，负责将装载腔中的基片搬运到工艺腔，或者从工艺腔搬运到装载腔。由于装载腔、传输腔和工艺腔工作时均为真空状态，而用于驱动机械手运动和转架旋转的伺服电机不能在真空下工作，所以在传输腔和工艺腔上分别设置磁流体进行密封。

工艺腔上的转架伺服电机通过联轴器和磁流体一端连接，磁流体另一端也通过联轴器和工件转架连接。传输腔上的机械手驱动电机通过联轴器和另一磁流体一端连接，磁流体的另一端也是通过联轴器和机械手取片机构连接。

在系统运行过程中，只要有一个联轴器打滑，都会造成运动部件位置不准确，从而造成运动部件损坏。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开实施例的目的在于提供一种转架位置异常的检测方法与检测装置，能够通过视觉检测方式识别转架的状态是否异常。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。

根据本公开实施例的一个方面，提供了一种转架位置异常的检测方法，该检测方法包括：

获取转架在检测位置时的图像；

从所述图像中提取所述转架的第一特征线，从所述图像中提取机械手的第二特征线；

确定所述第一特征线和所述第二特征线的夹角，并判断所述夹角是否大于等于预设夹角；

若所述夹角大于所述预设夹角，则判断所述转架的位置异常。

在本公开的一种示例性实施例中，所述检测方法还包括：

若所述夹角小于或等于所述预设夹角，则判断所述转架的位置正常。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一特征线为位于所述转架上的结构特征和机械手上的结构特征。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第二特征线为位于所述机械手上的结构特征。

在本公开的一种示例性实施例中，当所述转架位于标准位置时，所述第一特征线与所述第二特征线平行。

根据本公开实施例的另一个方面，提供了一种转架位置异常的检测装置，该检测装置包括：

图像获取模块，用于获取转架在检测位置以及机械手在检测位置的检测图像；

特征提取模块，与所述图像获取模块连接，从所述检测图像中提取所述转架上的第一特征线以及所述机械手上的第二特征线；

夹角计算模块，与所述特征提取模块连接，被配置为计算所述第一特征线和所述第二特征线之间的夹角；

夹角对比模块，与所述夹角计算模块连接，将获取的所述夹角与预设夹角对比；

输出模块，与所述夹角对比模块连接，若所述夹角大于所述预设夹角，则输出所述转架位置异常信息。