[发明专利]一种旋转式探针套筒的自动清洁装置及方法

说明书

本发明公开了一种旋转式探针套筒的自动清洁装置及方法，装置包括：操作台、图像识别设备和清洁设备；操作台包括固定平台和转动平台；转动平台上设有多组探针夹具，探针夹具用于夹持和旋转探针；图像识别设备并朝向转动平台设置，识别探针夹具上转动至图像识别工位的探针朝向；清洁设备具有一组吹气口，每个吹气口对应每组探针夹具中的一个；探针夹具根据图像识别设备所识别的探针朝向，旋转其夹持的探针，以将探针的小孔端朝向对应的吹气口，通过吹气口释放的压缩气体完成探针内腔自动清洁。本发明可以对小孔端吹气以将探针内部的异物完全吹出，达到提高清洁效果的目的。

技术领域

本发明属于探针清洁技术领域，尤其属于探针套筒清洁技术领域，具体涉及一种旋转式探针套筒的自动清洁装置及方法。

背景技术

在探针生产过程中，需对探针外观及内腔进行全检，目前采用的方法为人工挑选，其挑选速度慢，效率低。在人工挑选过程发现探针内腔有异物时，会采用相应清洗设备对其进行清洗。如公开号为CN109570135A的专利申请公开一种原子力显微镜氮化硅探针的清洗方法，目的是为了解决目前原子力显微镜氮化硅探针的表面污染物难以有效去除的问题，方法为：将原子力显微镜氮化硅探针依次置于不同溶液中超声清洗，氮气吹干，再用空气等离子体清洗器进一步清洗，即得干净无损的探针。虽然可以去除探针表面的颗粒和有机污染物，但是，不同的清洗剂容易加快探针表面氧化或损坏探针金属表面的镀层，并且超声波也容易造成针头的损伤，内部结构变化，直接降低探针使用寿命。

再如，公开号为CN105583695A的专利申请公开一种探针的清针方法及探针。该清针方法包括以下步骤：对探针的表面进行抛光处理，以清除探针的表面上的污染物，并对探针的表面进行削切活化；对探针的针尖进行研磨处理，以钝化探针的针尖。通过对探针的表面进行抛光处理以清除探针的表面上的污染物，且探针的针长没有明显损耗。然后，通过对探针的针尖进行研磨处理以钝化探针的针尖，从而减少了因针尖过于尖锐导致的测试焊盘被打穿，并减少了因针尖过于脆弱导致的探针发生断针的概率。虽然采用该清针方法进行清针后，针尖长度无明显变化，可以降低人力成本和提高生产效率，但是，采用直接接触的探针清洁模组，容易损伤探针金属表面的镀层，导致导电不良；并且在刷洗过程中容易导致探针变形。

总体而言，目前采用的探针清洗方式包括：1.用酒精等清洗剂清洗；2.超声波清洗；3.细钢丝毛刷清洗；现有的清洗方法分存在以下缺点：1.酒精为易燃易挥发物品，存在较大安全隐患，且采用酒精等清洗剂进行清洗时会加快探针表面氧化；2.超声波容易造成针头的损伤，内部结构变化，直接降低探针使用寿命；3.采用细钢丝毛刷刷洗探针，严重损伤探针金属表面的镀层，导致导电不良；并且在刷洗过程中容易导致探针变形。此外，上述清洗方式在清洁探针内腔时，效果不理想，甚至彻底损坏探针，导致探针成品率降低，生产成本高昂。

因此，如何提供一种探针自动化上下料及内腔自动清洁清洁装置及方法，从而有效清除探针内腔异物，保证高合格率、低成本，是本领域亟待解决的问题。

发明内容

针对上述现有技术中存在的缺陷，本发明提供了一种旋转式探针套筒的自动清洁装置及方法；可以实现无接触的探针清洁，属于自动化上下料，自动分离探针上的异物，效率高，速度快，节约成本，提高探针产品合格率。

第一方面，本发明提供一种旋转式探针套筒的自动清洁装置，包括：操作台、图像识别设备和清洁设备；

操作台包括固定平台、转动设于固定平台上的转动平台；

固定平台沿转动平台的旋转方向，依次包括进料工位、图像识别工位、清洁工位和出料工位；

转动平台上设有多组探针夹具，探针夹具远离转动平台的一端用于夹持和旋转探针；

图像识别设备，位于图像识别工位，并朝向转动平台设置，用于识别探针夹具上转动至图像识别工位的探针朝向；

清洁设备，位于清洁工位，其具有一组吹气口，每个吹气口对应每组探针夹具中的一个；