[发明专利]高强度螺纹嵌件

说明书

本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种高强度螺纹嵌件。包括嵌件本体，所述嵌件本体采用非金属或耐化学腐蚀金属材料，嵌件本体的内侧和外侧分别设有内螺纹和外螺纹，内螺纹与紧固件连接，外螺纹与被安装件连接。由于本装置采用非金属或耐化学腐蚀金属材料，所以可以在强腐蚀性介质的工艺环境中使用。

技术领域

本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种高强度螺纹嵌件。

背景技术

半导体湿制程设备中零部件涉及大量非金属材料，某些材料受其自身能力的限制，机械加工攻螺纹(内螺纹)后，使用过程中螺纹易被破坏。

现有技术主要采用两种材质：

第一种材质：金属嵌件，主要用于增强非金属材质内螺纹强度，一般用于允许金属存在使用环境；缺点是无法在某些特定环境下例如存在化学腐蚀环境下存在；

第二种材质：金属本体+表面非金属喷涂嵌件，主要用于增强非金属材质内螺纹强度，一般用于不允许金属存在使用环境中；缺点是表面喷涂非金属涂层容易脱落漏出本体，遇特殊腐蚀介质容易造成金属离子析出造成基板工艺失败。

现有技术主要采用三种结构：

第一种结构：钢丝嵌件，是冷轧菱形不锈钢丝加工而成的弹簧状内外螺纹紧固件，旋入并紧固在被装工件的螺纹孔中，形成标准内螺纹。缺点是提供强度不足，且拆装螺栓易被螺栓带出。

第二种结构：自攻嵌件，是一种带开槽或开孔的自攻型螺纹嵌入件，通过槽或孔对被安装工件进行切削，不带槽孔部分与安装工件产生挤压，固定在被装工件中。缺点切削后在嵌件槽或孔的位置，毛刺无法彻底清理，尤其盲孔螺纹。

第三种结构：插销嵌件，是一种内外都有螺纹，外螺纹上有四根或者两根插销键的紧固件，插销嵌件装入攻丝后的底孔中，再把四根插销压入，防止插销嵌件与被装工件产生滑脱。缺点是尺寸较大较长，故无法在I C行业设备，这种零件要求轻巧且设计集成化很高的场景使用。

发明内容

本发明为了有效的解决上述背景技术中的问题，提出了一种高强度螺纹嵌件。

具体技术方案如下：

一种高强度螺纹嵌件，包括嵌件本体，所述嵌件本体采用非金属或耐化学腐蚀金属材料，嵌件本体的内侧和外侧分别设有内螺纹和外螺纹，内螺纹与紧固件连接，外螺纹与被安装件连接。

优选地，所述外螺纹的螺纹角度大于被安装工件的螺纹角度，形成压装区域。

优选地，安装后，被装工件与嵌件本体空气完全排出，形成真空面。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：①由于本装置采用非金属或耐化学腐蚀金属材料，所以可以在强腐蚀性介质的工艺环境中使用；②克服了钢丝嵌件由于装入工件后螺纹截面较细(受力面小)在非金属零件提供安装强度不足的缺点；③本发明只产生弹性形变而无切削产生，故而解决了被装工件被碎屑二次污染的问题；④本发明对比插销嵌件拥有更细小的外径与更短小的强度，故在工件设计上给设计师提供了更好的发挥空间。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。