[发明专利]一种晶圆盒形变量的检测装置及方法

权利要求书

1.一种晶圆盒形变量的检测装置，其特征在于：包括检测平台，所述检测平台上设置有用于放置晶圆盒的限位基台，所述限位基台的两端分别装配在两个第二导轨上，能够沿第二导轨移动，垂直于第二导轨的方向上设置有第一导轨，第一导轨上设置有激光发射系统和激光光斑接收系统，所述激光发射系统通过第一支架固定在第一导轨上并能沿第一导轨移动，所述激光光斑接收系统通过第二支架固定在第一导轨上并能沿第一导轨移动；

所述第一支架通过第一滑座滑动连接在第一导轨上，所述第一支架上连接有测角仪，位于测角仪下方的第一支架上设置有第一高度调节旋钮，所述测角仪上设置有第一转轴，第一转轴上固定有角度指针和激光器，其中角度指针的中心线、激光器的中心线与测角仪的圆心处于同一直线上；

所述第二支架通过第二滑座滑动连接在第一导轨上，所述第二支架上连接有激光光斑接收平台，位于激光光斑接收平台下方的第二支架上设置有第二高度调节旋钮，所述激光光斑接收平台上设置有第二转轴，所述第二转轴上固定有刻度面板，所述刻度面板上设置有标记标准的4inch、6inch、8inch晶圆盒在无形变状态下激光打在晶圆盒侧面中心位置所反射的光斑的坐标点及刻度。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒形变量的检测装置，其特征在于：所述限位基台前侧设置有测试面限位板，所述限位基台上设置有中心限位丝杆，中心限位丝杆左端和右端的长度相同，螺纹方向相反，在中心限位丝杆的左右端分别螺接两个限位块，其中中心限位丝杆的一端上还固定有调节轮。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒形变量的检测装置，其特征在于：两个限位块一起随中心限位丝杆移动且两个限位块距离中线之间的距离始终相等。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒形变量的检测装置，其特征在于：所述第一导轨、第二导轨上均设置有刻度线。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆盒形变量的检测装置，其特征在于：所述第一支架、第二支架上开设置有螺纹，第一高度调节旋钮、第二高度调节旋钮采用匹配的螺母。

6.一种晶圆盒形变量的检测方法，采用如权利要求2-5任一项所述的晶圆盒形变量的检测装置，其特征在于：包括如下步骤：

S1：调节第一高度调节旋钮、第二高度调节旋钮，将激光器的高度与反射光斑的刻度面板的高度调整到与待测晶圆盒尺寸相对应的高度；

S2：根据测试精度需求确定激光入射角θ1并旋转激光器到设定的角度；

S3：调节第一导轨距离限位基台上的测试面限位板即晶圆盒待测平面之间的距离；

S4：将与待测晶圆盒相同尺寸的未进行真空封装的标准校准晶圆盒放置在限位基台上，将待测面贴紧测试面限位板，通过旋转丝杆上的调节轮使中心限位丝杆上的一对限位块夹紧待测晶圆盒，此时晶圆盒待测面的中线与测试面限位板的中线重合；

S5：调节激光器在第一导轨上的位置，直至入射激光正好打在标准晶圆盒上的光斑对准标记上；

S6：调节第二支架在第一导轨上的位置，使刻度面板距离第一导轨中轴位置的距离与激光器距离第一导轨中轴位置的距离相等，此时反射光斑的位置应位于刻度面板的基准点上；

若反射光斑偏离基准点位，通过再次调整第二支架在第一导轨上的位置、第二支架的高度、刻度面板的角度使反射光斑与基准点位重合，完成激光基准点位校准；

S7：将待测已真空封装的晶圆盒放置在限位基台上，待测面贴紧测试面限位板，调节中心限位丝杆使一对限位块夹紧待测晶圆盒；

S8：读取反射光斑在刻度面板上的位置以及与基准点位之间的距离，计算得到晶圆盒待测面中心区域的形变大小及形变状态；

S9：旋转待测晶圆盒，对各个侧面的中心形变量进行测试。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆盒形变量的检测方法，其特征在于：所述步骤S4中的标准校准晶圆盒的侧面中心位置已做激光光斑对准标记。