[发明专利]一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202211130171.7 申请日: 2022-09-15
公开(公告)号: CN115312618A 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 潘江涌;黄昱凌;汪丽茜;毛磊 申请(专利权)人: 南京信息工程大学
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 孙永生
地址: 224002 江苏省盐城*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 pn 异质结 紫外 光电 探测器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器,其特征在于:包括基底、P型传输层和阴极,所述基底与所述P型传输层之间设有阳极,所述P型传输层与所述阴极之间设有铜基卤化物。

2.根据权利要求1所述的一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器,其特征在于:所述阴极和所述阳极形成异面的交叉网格结构。

3.根据权利要求1所述的一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器,其特征在于:阳极和阴极的厚度分别为50~200 nm;P型传输层的厚度厚10~100 nm;铜基卤化物的厚度为50~400 nm。

4.根据权利要求1所述的一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器,其特征在于:所述铜基卤化物包括Cs3Cu2I5或Cs1Cu2I3

5.根据权利要求1所述的一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器,其特征在于:所述P型传输层包括NiO、CuO或WO3

6.根据权利要求2所述的一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器,其特征在于:阴极和阳极的制备材料分别包括纯度为99.9999 %的金、银或铝;基底的制备材料为玻璃。

7.一种根据权利要求1-6任意一项所述的基于PN异质结的日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

对基底进行清洗和干燥;

对干燥后的基底进行紫外臭氧处理;

利用热蒸镀法制备阳极;

在阳极上旋涂P型传输层;

在P型传输层上旋涂铜基卤化物前驱体溶液和反溶剂,进行退火,制得铜基卤化物薄膜;

利用热蒸镀法制备阴极,制得基于PN异质结的日盲紫外光电探测器。

8.根据权利要求7所述的一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于,清洗包括:依次将基底放入清洁剂、去离子水、丙酮和异丙醇溶液中进行超声波清洗。

9.根据权利要求7所述的一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于:反溶剂包括甲苯、乙酸乙酯或乙酸甲酯。

10.根据权利要求9所述的一种基于PN异质结的日盲紫外光电探测器的制备方法,其特征在于,铜基卤化物前驱体溶液的制备包括:

将CsI和CuI溶于DMF和DMSO的混合溶液中,进行搅拌,制得浓度为0.1~1 mol/L的溶液。

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