[发明专利]一种使用间接光控镀制窄带滤光片的方法

权利要求书

1.一种使用间接光控镀制窄带滤光片的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：选取的镀膜的膜系的膜系结构包括若干个法布里-帕罗腔及连接层：法布里-帕罗腔的结构为：aHbL(HL)^^n-12AHL(HL)^ⁿ、{(HL)^ⁿ2BHL(HL)^ⁿ}^^N(HL)^ⁿ2AL(HL)^^n-1cHdL；

S2：通过Z＝|B-C|/|B-A|×100％的计算法来控制S1中镀膜的膜系的膜系结构，然后将n、N、A和B的值根据半波宽以及截止深度来进行调整；

S3：对a、b、c和d的值进行调整，来达到对带通波段的透过率进行调整，直到带通波段的透过率达到极限。

2.根据权利要求1所述的一种使用间接光控镀制窄带滤光片的方法，其特征在于，所述S1中，H为高折射率层的四分之一中心波长的光学厚度，L为低折射率层的四分之一中心波长的光学厚度；2H为两个四分之一中心波长的光学厚度，A和B为均多个二分之一光学厚度的高折射率层，n，N为腔的数量。

3.根据权利要求2所述的一种使用间接光控镀制窄带滤光片的方法，其特征在于，所述高折射率层的材料为Ta₂O₅、Nb₂O₅、Ti₃O₅和H₄中的至少之一，所述高折射率层的折射率在400-1100nm的范围为1.8-2.5。

4.根据权利要求2所述的一种使用间接光控镀制窄带滤光片的方法，其特征在于，所述低折射率层的材料为SiO₂、Al₂O₃和MgF₂中的至少之一，所述低折射率层的折射率在400-1100nm的范围为1.38-1.61。

5.根据权利要求1所述的一种使用间接光控镀制窄带滤光片的方法，其特征在于，所述S2中，A、B是极值，C是终止值。

6.根据权利要求1所述的一种使用间接光控镀制窄带滤光片的方法，其特征在于，所述S3中，a、b、c和d的值均控制在0.3-2.5之间。