[发明专利]腔内漏率测试的自动控制方法和装置

权利要求书

1.一种腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，包括：

基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；

所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率；

所述在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值是基于如下步骤获取的：

基于所述测漏条件极值和执行所述抽真空操作的真空泵的抽气速率之间的乘积，确定监测周期，并基于所述监测周期，间歇地监测所述工艺腔体内的实时压力值，统计当前监测的实时压力值和监测时间距离当前时间最近的多个历史压力值；

其中，所述测漏条件极值与所述真空泵的抽气速率之间的乘积越小，所述监测周期越长；纳入统计的历史压力值的数量是基于所述监测周期确定的，所述监测周期越短，纳入统计的历史压力值的数量越多；

所述若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作，具体包括：

以时间为横轴、压力值为纵轴，对所述实时压力值和所述多个历史压力值进行曲线拟合，得到所述实时压力值和所述多个历史压力值满足的曲线函数表达式；

计算所述曲线函数表达式在最早的历史压力值与所述实时压力值对应的时间范围内的压力值方差，作为所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度；计算所述曲线函数表达式在所述时间范围内的平均值，作为所述实时压力值和历史压力值的平均值；

当所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作。

2.根据权利要求1所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时，具体包括：

构建多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系；

基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

3.根据权利要求2所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时，具体包括：

以所述测漏条件极值作为查询关键词对所述转换关系进行查询；

若查询失败，则查询所述转换关系中与所述测漏条件极值最接近且大于所述测漏条件极值的样本测漏条件极值，作为标准测漏条件极值；

确定所述标准测漏条件极值对应的样本漏率计算延时，作为所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

4.根据权利要求1所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，具体包括：

获取所述工艺腔体内设的压力计的误差范围；

基于所述压力计的误差范围以及所述各个工作环节的真空度极大值，确定所述各个工作环节的真空度极大值对应的所述压力计的最小读数，并将所述最小读数作为所述测漏条件极值。

5.根据权利要求1所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时，具体包括：

基于所述各个维护环节的最大维护时长的总和，确定所述真空抽取延时。