[发明专利]腔内漏率测试的自动控制方法和装置

说明书

本发明提供一种腔内漏率测试的自动控制方法和装置，其中方法包括：基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于测漏条件极值，确定漏率计算延时；基于工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于真空抽取延时时，对工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且实时压力值和历史压力值的平均值不大于测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间不小于漏率计算延时时，计算工艺腔体的漏率。本发明实现了工艺腔体测漏的全流程自动化，提高了工艺腔体测漏的效率。

技术领域

本发明涉及自动控制技术领域，尤其涉及一种腔内漏率测试的自动控制方法和装置。

背景技术

随着自动化控制技术的发展，工业生产的各个领域都在试图采用自动化控制技术提高自动化水平以提高效率、节约人力成本，半导体领域也不例外。一个典型场景是在晶圆的生产制造过程中，大部分的工艺操作均需要在真空环境下进行，但由于工艺腔体具有很多密封口，在长时间的工艺过程中，上述密封口会由于材料老化等原因出现腔体泄露的情况，导致外部空气进入到工艺腔体内部，降低工艺腔体内的真空度，从而对工艺参数产生严重的负面影响。因此，需要高效地对工艺腔体进行测漏，以及时发现腔体泄露的情况并予以调整。

目前对工艺腔体的测漏工作通常采用定期检测的方式，且测试过程中需要将工艺设备停机，以使工艺腔体处于不能进行工艺的离线状态，然后由工程师手动操作机台配套软件上专门的漏率测试菜单进行相应的测漏操作。然而，上述定期检测的方式不够灵活的同时，由于测漏过程需要在工艺腔体处于离线状态的时候进行，会干扰正常的工艺流程，拖慢工艺效率。此外，由于测漏过程中，需要工程师根据自身经验手动配置配套软件上的漏率测试菜单中的测试参数，因此测漏的准确性很大程度上依赖于工程师的主观经验的好坏，测漏准确性难以得到保证，而测漏准确性的降低会对工艺操作产生很大的影响。因此，需要一种针对工艺腔体漏率测试的更准确的自动控制方法。

发明内容

本发明提供一种腔内漏率测试的自动控制方法和装置，用以解决现有技术中准确性不稳定的缺陷。

本发明提供一种腔内漏率测试的自动控制方法，包括：

基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；

所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时，具体包括：

构建多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系；

基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时，具体包括：

以所述测漏条件极值作为查询关键词对所述转换关系进行查询；

若查询失败，则查询所述转换关系中与所述测漏条件极值最接近且大于所述测漏条件极值的样本测漏条件极值，作为标准测漏条件极值；