[发明专利]一种灰尘固定方法及装置

权利要求书

1.一种灰尘固定方法，应用于光罩，其特征在于，所述灰尘固定方法包括：

采用激光透过所述光罩的光学膜照射灰尘，以将所述灰尘固定在所述光罩的遮光层上。

2.根据权利要求1所述的灰尘固定方法，其特征在于，所述采用激光透过所述光罩的光学膜照射灰尘，以将所述灰尘固定在所述光罩的遮光层上的步骤包括：

以预设频率的激光间隔第一预设时长点发照射所述灰尘预设次数，单次照射所述灰尘第二预设时长。

3.根据权利要求2所述的灰尘固定方法，其特征在于，所述预设频率处于500nJ～1500nJ的范围内。

4.根据权利要求2所述的灰尘固定方法，其特征在于，所述第一预设时长处于1s～2s的范围内。

5.根据权利要求2所述的灰尘固定方法，其特征在于，所述第二预设时长处于0.5s～1s的范围内。

6.根据权利要求2所述的灰尘固定方法，其特征在于，所述预设次数处于5次至10次之间。

7.根据权利要求1所述的灰尘固定方法，其特征在于，所述采用激光透过所述光罩的光学膜照射灰尘，以将所述灰尘固定在所述光罩的遮光层上的步骤包括：

采用激光以垂直于所述灰尘所在的所述遮光层表面的角度照射所述灰尘，以使所述灰尘嵌入所述遮光层内。

8.根据权利要求1所述的灰尘固定方法，其特征在于，所述采用激光透过所述光罩的光学膜照射灰尘，以将所述灰尘固定在所述光罩的遮光层上的步骤还包括：

获取所述灰尘的粒径；

在所述灰尘的粒径处于预设范围内时，采用激光透过所述光罩的光学膜照射所述灰尘，以将所述灰尘固定在所述光罩的遮光层上。

9.根据权利要求8所述的灰尘固定方法，其特征在于，所述预设范围为1μm～10μm。

10.一种灰尘固定装置，应用于光罩，其特征在于，所述灰尘固定装置包括：

激光照射模块，用于发射激光透过所述光罩的光学膜照射灰尘，以将所述灰尘固定在所述光罩的遮光层上。