[发明专利]一种测试评价材料深层充放电效应的表征方法

权利要求书

1.一种测试评价材料深层充放电效应的表征方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：测试开始前，将材料样品放置在真空室内部，并且处于正对模拟源系统的位置，使模拟源系统发射的电子束射入材料样品的内部；

步骤2：在材料样品的前方设置非接触式表面电位计探头，并将非接触式表面电位计探头与非接触式表面电位计连接，使非接触式表面电位计探头对材料样品的表面电位进行监测；

步骤3：将材料样品的金属结构与放电信号监测系统进行连接；

步骤4：测试开始时，通过抽真空系统对真空室进行抽真空；

步骤5：开启模拟源系统，调节模拟源系统，使其发射的高能电子束射入材料样品的内部；

步骤6：确定材料样品需要测量表面电位的区域，移动非接触式表面电位计探头至材料样品表面不同待测区域，测量其表面电位，同时通过放电信号监测系统监测放电信号；

步骤7：记录材料样品表面不同待测区域的电位，根据监测到的放电信号，比较材料样品表面不同待测区的电位在放电前后的变化，变化率最大的区域即为放电区域；

步骤8：测试结束后，依次关闭非接触式表面电位计探头、放电信号监测系统、模拟源系统以及抽真空系统。

2.根据权利要求1所述的测试评价材料深层充放电效应的表征方法，其特征在于，在步骤3中，所述放电信号监测系统包括示波器以及接地电阻，所述示波器和所述接地电阻均与所述材料样品连接。

3.根据权利要求2所述的测试评价材料深层充放电效应的表征方法，其特征在于，所述示波器的带宽＞100MHz，所述接地电阻的阻值为130-170Ω。

4.根据权利要求1所述的测试评价材料深层充放电效应的表征方法，其特征在于，在步骤4中，抽真空系统抽真空后，真空室内的真空值为6×10^-5Pa。

5.根据权利要求1所述的测试评价材料深层充放电效应的表征方法，其特征在于，在步骤6中，材料样品需要测量表面电位的区域包括结构面积大的区域、悬浮导体区域、接地区域以及与导通导体连接的区域。