[发明专利]多工位激光加工装置及其对位标定方法

权利要求书

1.一种多工位激光加工装置，其特征在于，包括：N个加工位、两条平行等高的Y向滑轨和工作台，其中，N为偶数；

每两个所述加工位对称安装在基板上；

所述基板连接在导轨横梁的中间位置，所述导轨横梁的两端通过滑块连接在所述Y向滑轨上；

每个所述加工位的结构相同，均包括激光器和相机，所述激光器连接在所述基板的中间位置，所述激光器用于激光刻印；所述相机通过X向滑轨连接在所述基板下端突出的连接块上，所述相机用于图像识别，所述相机连接控制器，并将识别信息反馈给控制器，控制器对所述X向滑轨和所述Y向滑轨进行驱动。

2.如权利要求1所述的多工位激光加工装置，其特征在于，所述X向滑轨和所述Y向滑轨均采用电控滑台。

3.如权利要求1所述的多工位激光加工装置，其特征在于，所述工作台包括：柔性薄膜和真空吸附台，所述柔性薄膜安置在所述真空吸附台上。

4.一种如权利要求1所述的多工位激光加工装置的对位标定方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将柔性薄膜置于真空吸附台，所述柔性薄膜两侧标记上等距的对位标识点，并划分为N个加工区；

S2、对N个所述加工区、相机和激光器进行对应编号；

S3、对第n激光器和第n+1激光器进行对位标定，其中，n的取值范围为1～N-1的整数；

S31、建立第n相机和第n+1相机的空间位置关系，具体过程如下：

第n相机和第n+1相机识别第n加工区和第n+1加工区的对位标识点，依据对位标识点信息进行X向和Y向移动，使第n加工区和第n+1加工区的对位标识点处于第n相机和第n+1相机的视场中心，确定第n相机和第n+1相机的空间位置关系；

S32、建立零位角度，具体过程如下：

第n激光器和第n+1激光器分别加工含垂直角的图案，第n相机对第n激光器的加工图案进行X、Y轴识别，并设定为所述零位角度；

第n+1相机对第n+1激光器的加工图案进行X、Y轴识别，并依据所述零位角度控制第n+1激光器进行偏转，保证第n相机识别的X、Y轴与第n+1相机识别的X、Y轴平行；

S33、建立第n激光器和第n+1激光器的空间位置关系，具体过程如下：

第n激光器和第n+1激光器分别进行打点，并设为第n零点和第n+1零点，第n相机和第n+1相机分别识别第n零点和第n+1零点相对视场中心空间位置，分别建立第n激光器与第n相机的空间位置关系、第n+1激光器与第n+1相机的空间位置关系，并结合S2中建立的第n相机和第n+1相机的空间位置关系，获得第n激光器和第n+1激光器的空间位置关系，完成第n激光器和第n+1激光器的对位标定；

S4、重复S3直至N个激光器均完成对位标定。

5.如权利要求4所述的多工位激光加工的对位标定方法，其特征在于，所述含垂直角的图案可采用十字或口字图案。