[发明专利]芯片位置的调整方法、装置、终端及存储介质在审
申请号: | 202211401335.5 | 申请日: | 2022-11-09 |
公开(公告)号: | CN115763342A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 邵钏;许荣峰;林哲民 | 申请(专利权)人: | 深圳市奇普乐芯片技术有限公司;上海奇普乐芯片科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 北京知帆远景知识产权代理有限公司 11890 | 代理人: | 刘岩磊 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤海街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 位置 调整 方法 装置 终端 存储 介质 | ||
1.一种芯片位置的调整方法,其特征在于,包括:
响应于目标芯片设置于画布中,检测所述目标芯片在所述画布中的初始摆放位置,其中,所述画布包括呈阵列布设的多个网格单元,所述多个网格单元中的每个网格单元设置有一个接点,所述接点用于表征有源硅基板的接触点;
基于所述初始摆放位置,确定所述目标芯片对应的目标摆放位置,并将所述目标芯片调整至所述目标摆放位置。
2.如权利要求1所述芯片位置的调整方法,其特征在于,所基于所述初始摆放位置,确定所述目标芯片对应的目标摆放位置,包括:
检测所述初始摆放位置是否与预设的基准位置对齐;
若所述初始摆放位置与所述预设的基准位置对齐,将所述初始摆放位置作为所述目标芯片对应的目标摆放位置。
3.如权利要求2所述芯片位置的调整方法,其特征在于,所述方法还包括:
若所述初始摆放位置与所述预设的基准位置未对齐,以所述初始摆放位置为中心以及第一偏移量为半径所形成的搜索区域内查找是否存在基准位置;
若所述搜索区域内存在所述基准位置,基于所述基准位置的数目和所述初始摆放位置,确定所述目标摆放位置。
4.如权利要求3所述芯片位置的调整方法,其特征在于,所述基于所述基准位置的数目和所述初始摆放位置,确定所述目标摆放位置,包括:
若所述基准位置的数目为一个,将所述基准位置作为所述目标摆放位置。
5.如权利要求3所述芯片位置的调整方法,其特征在于,所述基于所述基准位置的数目和所述初始摆放位置,确定所述目标摆放位置,包括:
若所述基准位置的数目为多个,从多个基准位置中选取与所述初始摆放位置距离最近的位置作为目标基准位置;
将所述目标基准位置作为所述目标摆放位置。
6.如权利要求3所述芯片位置的调整方法,其特征在于,所述方法还包括:
若所述搜索区域内不存在所述基准位置,对所述第一偏移量进行扩大,直至在以所述初始摆放位置为中心以及扩大后的第一偏移量为半径所形成的搜索区域内查找到所述基准位置,并执行所述基于所述基准位置的数目和所述初始摆放位置,确定所述目标摆放位置的步骤。
7.如权利要求1所述芯片位置的调整方法,其特征在于,所述基于所述初始摆放位置,确定所述目标芯片对应的目标摆放位置,包括:
基于所述初始摆放位置,确定多个候选摆放位置,其中,所述多个候选摆放位置是以初始摆放位置为起点,以及以第二偏移量对所述目标芯片进行移动得到;
基于所述初始摆放位置和所述多个候选摆放位置,确定所述目标摆放位置。
8.如权利要求7所述芯片位置的调整方法,其特征在于,所述基于所述初始摆放位置和所述多个候选摆放位置,确定所述目标摆放位置,包括:
计算所述目标芯片中的所有芯片接点与所述初始摆放位置对应的所有接点的重叠面积,得到第一重叠面积;
计算所述目标芯片中的所有芯片接点与所述多个候选摆放位置中的每个候选摆放位置对应的所有接点的重叠面积,得到多个候选重叠面积,其中,所述多个候选摆放位置与所述多个候选重叠面积一一对应;
将所述第一重叠面积和多个候选重叠面积进行比较,确定所述目标摆放位置。
9.如权利要求8所述芯片位置的调整方法,其特征在于,所述将所述第一重叠面积和多个候选重叠面积进行比较,确定所述目标摆放位置,包括:
若所述第一重叠面积大于所述多个候选重叠面积中的每个候选重叠面积,将所述初始摆放位置作为所述目标摆放位置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造