[发明专利]一种N型TOPCon电池的烧结方法、用于N型TOPCon电池烧结的烧结炉在审
| 申请号： | 202211703215.0 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN115863486A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 鲁乾坤 | 申请（专利权）人： | 苏州沃特维自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224;F27B9/24;F27B9/06;F27B9/36;F27B9/40 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 吕永齐 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 topcon 电池 烧结 方法 用于 烧结炉 | ||
1.一种N型TOPCon电池的烧结方法，其特征在于，包括以下步骤：
将N型TOPCon电池片传送至烧结区对电池片进行灯管加热的同时，在所述电池片的正面施加激光扫描处理；
所述电池片的正面温度较背面温度高50～80℃；
所述N型TOPCon电池片的正面和背面均涂覆有银浆。
2.如权利要求1所述的烧结方法，其特征在于，所述电池片的背面的温度为700～730℃。
3.如权利要求1所述的烧结方法，其特征在于，所述电池片的正面温度为750～800℃。
4.如权利要求1～3所述的烧结方法，其特征在于，所述电池片的传送速度为250mm/s。
5.如权利要求4所述的烧结方法，其特征在于，所述激光扫描处理为以10～20m/s的速度来回扫描；
所述激光扫描处理的光斑直径为2～10mm，波长为300～1100nm。
6.一种用于N型TOPCon电池烧结的烧结炉，其特征在于，包括电池片传输装置、烧结炉、光电探测头、透明窗口和激光扫描器；
所述透明窗口位于所述烧结炉的顶部；
所述激光扫描器的照射位置对应所述透明窗口处。
7.如权利要求6所述的烧结炉，其特征在于，所述电池片传输装置为传动滚轮。
8.如权利要求6所述的烧结炉，其特征在于，所述光电探测头位于激光扫描器旁。
9.如权利要求6所述的烧结炉，其特征在于，所述烧结炉的加热装置为加热灯管；
所述加热灯管位于电池片上下侧，分布在烧结炉内。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
