[发明专利]一种实时检测晶圆盒中VOCs的方法

权利要求书

1.一种实时检测晶圆盒中VOCs的方法，包括以下步骤，

步骤100：提供检测晶圆盒内VOCs的装置，包括晶圆盒、三通阀、检测模块和补气模块，所述晶圆盒、所述检测模块和所述补气模块分别与所述三通阀连接；

所述晶圆盒包括出气口，与所述三通阀连接；

所述出气口是所述晶圆盒的不具备过滤部件的过滤口，或者，所述出气口是在所述第一状态和所述第二状态下具备过滤部件的过滤口密闭的所述晶圆盒与外界连通的唯一通道；

步骤200：所述检测模块检测所述晶圆盒导出的待检测气体的VOCs，所述检测模块包括检测器，用以检测VOCs，包括，

步骤210：在第一状态下，连通所述出气口与所述检测器、关闭所述出气口与所述补气模块的连通，

步骤220：所述晶圆盒内气压高于所述检测模块气压，以使所述晶圆盒内所述待检测气体导入所述检测模块至所述检测器，

步骤230：所述检测器检测所述待检测气体，

步骤240：关闭所述晶圆盒与所述检测模块的连通；

步骤300：所述补气模块向所述晶圆盒导入补充气体，所述补气模块包括气源，用以向所述晶圆盒提供所述补充气体，包括

步骤310：在第二状态下，连通所述出气口与所述补气模块；

步骤320：所述晶圆盒内气压低于所述补气模块气压，所述气源向所述晶圆盒导入所述补充气体；

步骤330：关闭所述晶圆盒与所述补气模块的连通；

继续执行步骤200～步骤300以形成循环，实时检测所述晶圆盒中的VOCs。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤100中包括将所述晶圆盒过滤口中的过滤部件拆除以形成所述出气口。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤200中包括将具备过滤部件的过滤口封闭，以使所述出气口直至循环结束之前是所述晶圆盒与外部环境连接的唯一通道。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤200前还包括向所述检测器加入与VOCs反应的反应物，直至步骤240结束。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述反应物是超纯水、氧气、NO中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤200前还包括校准所述检测器。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，采用含有VOCs浓度已知的标准气体校准所述检测器。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤200前还包括向所述检测器加入零气，直至步骤240。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤220中，在10秒-60分钟内、以流量0.005-1000mL/min向所述检测模块导入所述待检测气体。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述待检测气体中含苯、甲苯、二甲苯、乙苯、苯乙烯、甲醛、乙醛、丙烯醛中的至少一种，

步骤220中，在2分钟内、以流量100mL/min向所述检测模块导入所述待检测气体，同时，以流量250mL/min导入所述零气。