[发明专利]一种实时检测晶圆盒中VOCs的方法

说明书

本发明提供一种实时检测晶圆盒中VOCs的方法，包括步骤100：提供检测晶圆盒内VOCs的装置，包括晶圆盒、三通阀、检测模块和补气模块，分别与三通阀连接；晶圆盒包括出气口，与三通阀连接；出气口是晶圆盒的不具备过滤部件的过滤口，或者，出气口是在第一状态和第二状态下具备过滤部件的过滤口密闭的晶圆盒与外界连通的唯一通道；步骤200：检测模块检测晶圆盒导出的待检测气体的VOCs；步骤300：补气模块向晶圆盒导入补充气体，所述模块包括气源，用以向晶圆盒提供补充气体；继续执行步骤200～步骤300以形成循环，实时检测所述晶圆盒中的VOCs。具有有益效果：改进现有晶圆盒结构，直接检测晶圆盒内VOCs，结果更准确；实现实时循环检测，可实时监控晶圆盒内污染物情况。

技术领域

本发明涉及一种用以实时检测晶圆盒内VOCs的装置及利用该装置实施检测晶圆盒内VOCs的方法，尤其涉及一种改进现有晶圆盒以实现实时检测晶圆盒内VOCs的装置及利用该装置的晶圆盒内VOCs实时检测方法。

背景技术

现有检测晶圆盒内挥发性有机污染物(VOCs)方法主要采取晶圆放入晶圆盒后转移出晶圆盒后再检测VOCs的“转移法”，一般使用“热脱附-气相色谱质谱”联用检测转移出晶圆盒的晶圆表面VOCs挥发性有机污染物。

转移法的具体实施步骤：将不同状态的晶圆储存在晶圆盒内，按照实际晶圆代工对晶圆盒进行环境处理，然后取出晶圆，通过转移法，通过检测晶圆表面VOCs挥发性有机污染物的释放来间接检测晶圆盒内的VOCs水平。转移法还涉及一种晶圆加热及VOCs收集装置，如图1所示，石英室加热放置于其中的晶圆，通入氦气将加热后的晶圆表面的VOCs吹至热脱附-气相色谱质谱联用仪中，进行检测分析VOCs的水平。

转移法存在如下技术问题：

第一、转移法是一种间接检测晶圆盒内VOCs的方法，VOCs沉积量受制于晶圆在晶圆盒内停留时间的长短，且晶圆表面的VOCs容易在转移过程中挥发、或者在转移过程中增加非晶圆盒内的VOCs，导致检测得到的VOCs不准确。

第二、转移法涉及晶圆盒、石英室加热和热脱附-气相色谱质谱联用仪热设备联用、操作复杂、步骤繁琐，无法实时检测晶圆盒内VOCs的情况。

第三、转移法对晶圆从晶圆盒内取出的时间控制、操作方式有极高的要求，检测晶圆盒内VOCs的成本高昂。

发明内容

为解决以上技术问题，本发明提供一种用以实时检测晶圆盒内VOCs的装置及利用该装置的晶圆盒内VOCs实时检测方法，改进现有晶圆盒结构，直接检测晶圆盒内VOCs，结果更准确；实现实时循环检测，可实时监控晶圆盒内污染物情况。

本发明提供一种用以实时检测晶圆盒内VOCs的装置，包括晶圆盒、检测模块、补气模块和三通阀，所述晶圆盒、所述检测模块和所述补气模块分别与所述三通阀连接，其特征在于，

所述晶圆盒包括出气口，所述检测模块包括检测器，所述补气模块包括气源；

所述三通阀在第一状态下连通所述出气口和所述检测器、关闭所述出气口与所述补气模块的连通，所述晶圆盒内气压高于所述检测模块气压，以使所述晶圆盒内待检测气体导入所述检测模块至所述检测器；

所述三通阀在第二状态下连通所述出气口和所述气源、关闭所述出气口与所述检测模块的连通，所述晶圆盒内气压低于所述补气模块气压，以使所述气源向所述晶圆盒导入补充气体；

所述出气口是所述晶圆盒的不具备过滤部件的过滤口，或者，所述出气口是在所述第一状态和所述第二状态下具备过滤部件的过滤口密闭的所述晶圆盒与外界连通的唯一通道。

优选地，还包括第一气道、第二气道和第三气道，

所述出气口、所述检测器和所述气源分别通过所述第一气道、所述第二气道和所述第三气道与所述三通阀连接，