[发明专利]抛光头、抛光装置和抛光方法

权利要求书

1.一种抛光头，用于安装被抛光工件，其特征在于，所述抛光头包括抛光头本体和压电陶瓷，所述压电陶瓷安装于所述抛光头本体之内，所述压电陶瓷用于与超声发生器连接以使所述抛光头振动。

2.根据权利要求1所述的抛光头，其特征在于，所述抛光头本体包覆所述压电陶瓷。

3.根据权利要求1所述的抛光头，其特征在于，在所述抛光头本体上形成有容纳槽和工件安装部，所述容纳槽的槽口的朝向背离所述工件安装部，所述压电陶瓷可拆卸的安装在所述容纳槽内。

4.根据权利要求2所述的抛光头，其特征在于，所述抛光头包括至少两个所述压电陶瓷，所述抛光头本体为圆盘状，各所述压电陶瓷在所述抛光头的周向上均匀分布。

5.根据权利要求4所述的抛光头，其特征在于，至少一个所述压电陶瓷为轴向振动压电陶瓷，且至少一个所述压电陶瓷为径向振动压电陶瓷，所述轴向振动压电陶瓷用于产生在所述抛光头的轴向上的振动，所述径向振动压电陶瓷用于产生在所述抛光头的径向上的振动。

6.根据权利要求5所述的抛光头，其特征在于，所述抛光头包括偶数个所述压电陶瓷，一半数量的所述压电陶瓷为所述轴向振动压电陶瓷，另一半数量的所述压电陶瓷为所述径向振动压电陶瓷，在所述抛光头的周向上各所述轴向振动压电陶瓷与各所述径向振动压电陶瓷交错排列，所述偶数大于或等于4。

7.根据权利要求6所述的抛光头，其特征在于，在所述抛光头的周向上相邻的两个轴向振动压电陶瓷之间仅设置一个所述径向振动压电陶瓷，且相邻的两个所述径向振动压电陶瓷之间仅设置一个所述轴向振动压电陶瓷。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的抛光头，其特征在于，在所述抛光头本体上形成有工件安装部，所述工件安装部用于与真空泵连接以吸附被抛光工件。

9.一种抛光装置，其特征在于，包括转动驱动件、主轴、正极碳刷、负极碳刷、正极导电环、负极导电环、超声发生器和如权利要求1-8中任一项所述的抛光头，所述正极导电环和所述负极导电环均固定在所述主轴上，所述正极碳刷和所述负极碳刷均与超声发生器连接，所述正极碳刷与所述正极导电环接触，所述负极碳刷与所述负极导电环接触，所述抛光头固定于所述主轴，所述转动驱动件与所述主轴传动连接，所述压电陶瓷与所述正极导电环和所述负极导电环均电连接。

10.一种抛光方法，其特征在于，

将真空装置外接真空泵，打开所述真空泵，将工件吸附于抛光头上，关闭所述真空泵，断开所述工件与所述抛光头的连接；

开启机台，将所述抛光头落下与抛光盘上的抛光垫接触，选择机台抛光程序，设定相关参数，启动所述机台抛光程序，输送抛光液，使所述抛光头和所述抛光盘开始转动；

启动超声发生器将电信号传入压电陶瓷，以使所述压电陶瓷将所述电信号转化为机械振动信号，使得抛光头将所述机械振动信号传递给所述工件以实现超声辅助化学机械抛光；

在抛光结束后基于所述机台抛光程序自动关闭抛光液输送以及抛光头和抛光盘的转动，手动关闭所述超声发生器，打开所述真空装置并取下所述工件以完成加工。