[发明专利]设备老化测试方法、装置及ATE设备

说明书

本发明实施例提供了一种设备老化测试方法、装置及ATE设备，涉及老化测试技术领域。其中，该方法包括：控制集成电路自动测试机ATE设备进行老化测试，所述老化测试所需的测试温度条件由所述ATE设备自身产生的热量提供；在所述老化测试中，对所述ATE设备的工作温度进行监测，得到所述ATE设备的工作温度；若所述ATE设备的所述工作温度不满足所述测试温度条件，则调整所述ATE设备的所述工作温度，使调整后的所述工作温度满足所述测试温度条件。本发明实施例可以解决相关技术中存在的ATE设备进行老化测试时需要使用高温老化房的问题。

技术领域

本发明涉及老化测试技术领域，具体而言，本发明涉及一种设备老化测试方法、装置及ATE设备。

背景技术

集成电路芯片被生产出来后，需要对其进行测试，确保集成电路芯片功能的完整后，才能投入使用。目前对集成电路芯片进行测试的设备主要是集成电路自动测试机(ATE)，为了提高ATE设备出货的良品率，需要在出厂前对其进行老化测试。

一般情况下，对于ATE设备，老化测试是通过高温老化房进行的，将ATE设备放在高温老化房内，高温老化房仿真出一种高温、恶劣环境对ATE设备进行测试，经过老化测试的ATE可以提高稳定性、可靠性。

上述老化测试需要使用建造成本高的高温老化房，不利于降低成本，因此，如何避免对ATE设备进行老化测试时使用高温老化房，成为了亟需处理的问题。

发明内容

本发明各实施例提供了一种设备老化测试方法、装置及ATE设备，可以解决相关技术中存在的ATE设备进行老化测试时需要使用高温老化房的问题。

所述技术方案如下：

根据本发明实施例的一个方面，一种设备老化测试方法，包括：控制集成电路自动测试机ATE设备进行老化测试，所述老化测试所需的测试温度条件由所述ATE设备自身产生的热量提供；在所述老化测试中，对所述ATE设备的工作温度进行监测，得到所述ATE设备的工作温度；若所述ATE设备的所述工作温度不满足所述测试温度条件，则调整所述ATE设备的所述工作温度，使调整后的所述工作温度满足所述测试温度条件。

根据本发明实施例的一个方面，一种设备老化测试装置，包括：启动模块，用于控制集成电路自动测试机ATE设备进行老化测试，所述老化测试所需的测试温度条件由所述ATE设备自身产生的热量提供；温度监测模块，用于在所述老化测试中，对所述ATE设备的工作温度进行监测，得到所述ATE设备的工作温度；温度控制模块，用于若所述ATE设备的所述工作温度不满足所述测试温度条件，则调整所述ATE设备的所述工作温度，使调整后的所述工作温度满足所述测试温度条件。

根据本发明实施例的一个方面，一种ATE设备包括以上所述任一项的所述设备老化测试装置。

本发明提供的技术方案带来的有益效果是：ATE设备进行老化测试所需的测试温度条件由自身产生的热量提供，并通过对ATE设备的工作温度进行监控和调整，使得ATE设备的工作温度满足测试温度条件，在此种方式下进行老化测试，无需投入巨额成本建造老化房，以此解决设备老化测试需用高温老化房的问题，进一步地，利用ATE设备的工作温度和实际电参数生成补偿数据，根据补偿数据对ATE设备输出至待测芯片的实际电参数进行补偿，使得ATE设备输出至待测芯片的实际电参数能够消除与测试电参数之间的偏差，以此提高ATE设备的测试精确度。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是根据一示例性实施例示出的一种ATE设备的硬件结构框图；

图2是根据一示例性实施例示出的一种设备老化测试方法的流程图；