[实用新型]一种半导体光学滤光膜检测设备

权利要求书

1.一种半导体光学滤光膜检测设备，包括设备机架、设置在设备机架内的固定安装架、设置在固定安装架上的工作平台，其特征在于：所述工作平台上设置有供料单元、搬运臂机构、光学相机检测单元、搬运臂机械手交接单元、补料单元、若干不良品回收盒、下料单元，所述供料单元设置在所述工作平台的首端，所述搬运臂机构左右分别设置在供料单元的两侧，所述光学相机检测单元设置在搬运臂机构旁，所述搬运臂机械手交接单元设置在光学相机检测单元后侧，所述补料单元设置在所述搬运臂机构中间，且与搬运臂机构相互垂直设置，所述下料单元设置在工作平台的尾端，下料单元设置在所述搬运臂机构旁，所述不良品回收盒设置在搬运臂机械手交接单元后侧以及下料单元旁侧。

2.根据权利要求1所述的一种半导体光学滤光膜检测设备，其特征在于：所述供料单元包括固定安装在工作平台上的供料固定支架、设置在供料固定支架上的料盘夹紧机构、设置在料盘夹紧机构上的料盘定位治具、设置在所述料盘夹紧机构内的料盘支撑机构，所述料盘夹紧机构包括设置在供料固定支架上的移动滑轨、滑动安装在移动滑轨上的夹紧块、设置在夹紧块后侧的电动伸缩杆，所述料盘支撑机构包括设置在夹紧块后侧的安装块、设置在安装块上的下压气缸、设置在夹紧块底部的翘板，所述下压气缸的伸缩端对着所述翘板设置，所述料盘定位治具设置在所述夹紧块之间。

3.根据权利要求1所述的一种半导体光学滤光膜检测设备，其特征在于：所述搬运臂机构包括搬运臂直线电机、通过第一搬运臂固定架滑动安装在搬运臂直线电机前端上的第一搬运臂、通过第二搬运臂固定架滑动安装在搬运臂直线电机前端上的第二搬运臂。

4.根据权利要求1所述的一种半导体光学滤光膜检测设备，其特征在于：所述光学相机检测单元包括上视觉检测机构和下视觉检测机构，所述上视觉检测机构和下视觉检测机构上下对应设置，且所述上视觉检测机构和下视觉检测机构分别设置在搬运臂机构上方和下方，所述上视觉检测机构包括上视觉检测机架、设置在上视觉检测机架上的上视觉直线模组、通过上视觉滑动支架安装在上视觉直线模组上的上视觉Z轴调节模组、通过上相机安装座滑动安装在上视觉Z轴调节模组上的上视觉光学检测相机，所述下视觉检测机构包括下视觉检测机架、设置在下视觉检测机架上的下视觉直线模组、通过下视觉滑动支架安装在下视觉直线模组上的下视觉Z轴调节模组、通过下相机安装座滑动安装在下视觉Z轴调节模组上的下视觉光学检测相机。

5.根据权利要求1所述的一种半导体光学滤光膜检测设备，其特征在于：所述搬运臂机械手交接单元包括交接支架、设置在交接支架上的升降气缸模组、固定安装在升降气缸模组上的料盘夹紧机构，所述料盘夹紧机构包括安装升降气缸模组上的料盘固定板、通过夹爪固定块固定在料盘固定板端部的夹爪。

6.根据权利要求1所述的一种半导体光学滤光膜检测设备，其特征在于：所述补料单元包括补料支架、设置在补料支架上的补料横移模组、通过夹紧滑块滑动安装在补料横移模组上的料盘夹紧机构、通过跳料滑块滑动安装在补料横移模组上的挑料臂，所述料盘夹紧机构包括固定安装在夹紧滑块上的步进电机、设置在步进电机伸缩端的吸嘴、设置在夹紧滑块上的相机，所述相机设置在所述吸嘴旁侧。

7.根据权利要求1所述的一种半导体光学滤光膜检测设备，其特征在于：所述下料单元与所述供料单元结构相同。

8.根据权利要求1所述的一种半导体光学滤光膜检测设备，其特征在于：所述下料单元和所述供料单元和搬运臂机构在同一平面上。