[实用新型]一种微环谐振腔有效

专利信息
申请号: 202220089732.2 申请日: 2022-01-13
公开(公告)号: CN217133414U 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 韩哲;亓岩;王延伟;颜博霞;范元媛;周密;王宇 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G02B6/122 分类号: G02B6/122;G02B6/293
代理公司: 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 代理人: 谷波
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 谐振腔
【权利要求书】:

1.一种微环谐振腔,其特征在于,包括:

总线波导以及位于所述总线波导一侧的微环波导,所述微环波导由相对的两段直波导和相对的两段第一弯曲波导顺次连接而成;

所述微环波导与所述总线波导之间存在间隙,所述总线波导与所述微环波导的相邻部位构成定向耦合器,在所述总线波导的两端分别设置有光信号的输入端和输出端。

2.根据权利要求1所述的微环谐振腔,其特征在于,所述第一弯曲波导由对称的两个第二弯曲波导拼接而成。

3.根据权利要求2所述的微环谐振腔,其特征在于,所述第一弯曲波导为90°弯曲波导,所述第二弯曲波导为45°弯曲波导。

4.根据权利要求2所述的微环谐振腔,其特征在于,所述直波导的宽度为第一宽度,所述总线波导的宽度为第二宽度,所述第一宽度大于所述第二宽度。

5.根据权利要求4所述的微环谐振腔,其特征在于,所述第二弯曲波导为宽度渐变波导,其宽度由第一宽度渐变为第二宽度。

6.根据权利要求5所述的微环谐振腔,其特征在于,所述第二弯曲波导的宽度渐变轮廓符合贝塞尔曲线。

7.根据权利要求5所述的微环谐振腔,其特征在于,所述总线波导与所述第一弯曲波导最窄处切线平行。

8.根据权利要求1所述的微环谐振腔,其特征在于,所述定向耦合器为单模耦合器。

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