[实用新型]一种用于硅外延工艺的气流控制装置

权利要求书

1.一种用于硅外延工艺的气流控制装置，包括顶针(1)，其特征在于：所述顶针(1)的外部设置有调节机构(2)，所述调节机构(2)包括针筒(6)、固定筒(15)和弹簧(4)，所述固定筒(15)固定连接在针筒(6)的表面，所述固定筒(15)的表面开设有有喷射孔，所述固定筒(15)的两侧设置有圆形通孔，所述顶针(1)的底部为倾斜设置，所述顶针(1)与固定筒(15)滑动连接，所述弹簧(4)固定连接在顶针(1)和针筒(6)之间，所述弹簧(4)与针筒(6)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅外延工艺的气流控制装置，其特征在于：所述调节机构(2)还包括千分尺微分头(10)和连接杆(12)，所述连接杆(12)的底部与顶针(1)连接，所述千分尺微分头(10)与连接杆(12)的顶部连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅外延工艺的气流控制装置，其特征在于：所述顶针(1)的外部还设置有密封机构(13)，所述密封机构(13)包括金属波纹管(5)、螺帽(7)和金属垫片(9)，所述金属波纹管(5)设置在针筒(6)的内部，所述螺帽(7)设置在针筒(6)的外部，所述金属垫片(9)设置在螺帽(7)和针筒(6)之间。

4.根据权利要求3所述的一种用于硅外延工艺的气流控制装置，其特征在于：所述密封机构(13)还包括密封圈(3)，所述密封圈(3)固定连接固定筒(15)的外部。

5.根据权利要求3所述的一种用于硅外延工艺的气流控制装置，其特征在于：所述螺帽(7)的表面固定连接有固定块(14)，所述固定块(14)的表面开设有滑槽，千分尺微分头(10)与滑槽滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅外延工艺的气流控制装置，其特征在于：所述固定块(14)的表面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有螺栓(8)，所述螺栓(8)与千分尺微分头(10)抵接。

7.根据权利要求5所述的一种用于硅外延工艺的气流控制装置，其特征在于：所述固定块(14)的表面开设有卡槽，所述卡槽的表面卡接有微分头保护罩(11)。