[实用新型]一种开门式长晶机辅助取晶棒治具有效
申请号: | 202220447612.5 | 申请日: | 2022-03-03 |
公开(公告)号: | CN216972746U | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 陈志刚;王俊仁;万军召 | 申请(专利权)人: | 郑州合晶硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人: | 张晓萍 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 开门 式长晶机 辅助 取晶棒治具 | ||
【权利要求书】:
1.一种开门式长晶机辅助取晶棒治具,其特征在于,该治具结构为一中间设有圆形通孔的长方体或正方体结构,用于防止取晶棒过程中的晶棒坠落;其制备材质具体为铁氟龙;
治具规格与开门式长晶机主炉室的炉口相适应,治具中部所设通孔与晶棒底部规格相适应。
2.如权利要求1所述开门式长晶机辅助取晶棒治具,其特征在于,治具为长方体,具体规格为:长×宽×高=1300mm×100mm×60mm;圆形通孔内孔径为20mm。
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