[实用新型]一种开门式长晶机辅助取晶棒治具

说明书

本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种开门式长晶机辅助取晶棒治具。该治具结构为一中间设有圆形通孔的长方体或正方体结构，用于防止取晶棒过程中的晶棒坠落；其制备材质具体为铁氟龙；治具规格与开门式长晶机主炉室的炉口相适应，治具中部所设通孔与晶棒底部规格相适应。具体应用时，将本申请所提供开门式长晶机辅助取晶棒治具置于主炉室和炉盖之间，并手动将晶棒尾部对应置于本申请治具长方体中部的圆孔内，以从底部对晶棒给予支撑，以最大程度避免晶棒车夹紧过程中碰断籽晶、或者造成晶棒掉落进而造成损失。本申请所提供的开门式长晶机辅助取晶棒治具，其结构设计简单，实用性强，对于确保晶棒的稳定取放具有较好的实用价值。

技术领域

本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种开门式长晶机辅助取晶棒治具。

背景技术

半导体晶圆制备中，其生产原料则是晶棒。工业生产中，生产制备晶棒时，通常采用一种可分为主炉室和副仓室的长晶机进行生产制备。针对开门式长晶机，晶棒生长完成后，取晶棒过程为：晶棒车运行到副仓室与晶棒缝隙中，然后夹紧晶棒，晶棒车通过升降方式使晶棒完全处在副室仓内，然后退晶棒车，再从副仓室取出晶棒。

但实际作业中，由于晶棒处于悬空状态（晶棒是悬挂于副仓室内）、且重量较大（100-300kg），加上晶棒上籽晶（直径3-10mm）最忌弯折和晃动，因此，如果作业不慎，极易使得晶棒车夹取晶棒过程中造成籽晶损坏或者晶棒断裂，进而造成较大的生产损失。为此，改善相关作业装置显然是具有较好实际意义的。

发明内容

本申请目的在于提供一种开门式长晶机辅助取晶棒治具，从而为晶棒的稳定提取作业奠定一定技术基础。

本申请所采取的技术方案详述如下。

一种开门式长晶机辅助取晶棒治具，其结构为一中间设有圆形通孔的长方体或正方体结构，用于防止取晶棒过程中的晶棒坠落；结合晶棒生产特点，其制备材质具体为铁氟龙（聚四氟乙烯）；

治具规格与开门式长晶机主炉室的炉口相适应，治具中部所设通孔与晶棒底部规格相适应，具体规格而言：

长方体情况下，可参考设计为：长×宽×高=1300mm×100mm×60mm；圆形通孔内孔径为20mm。

具体作业应用时，取晶棒前，首先将承装晶棒的副室仓升15cm左右（此时炉盖和主室之间有10cm左右间隙），此时将本申请所提供开门式长晶机辅助取晶棒治具置于主炉室和炉盖之间，并手动将晶棒尾部对应置于本申请治具长方体中部的圆孔内，以从底部对晶棒给予支撑。再后，按照现有操作，推取晶棒车从副仓室处夹紧晶棒，并通过晶棒车的升降取出晶棒，这样可以最大程度避免晶棒车夹紧过程中碰断籽晶、或者造成晶棒掉落进而造成损失。

总体上，本申请所提供的开门式长晶机辅助取晶棒治具，其结构设计简单，实用性强，对于确保晶棒的稳定取放具有较好的实用价值。

附图说明

图1为本申请所提供开门式长晶机辅助取晶棒治具应用示意图。

具体实施方式

下面结合实施例对本申请做进一步的解释说明。

实施例1

本申请所提供开门式长晶机辅助取晶棒治具，其结构为一中间设有通孔的长方体，其制备材质为铁氟龙（聚四氟乙烯）；具体规格而言：长×宽×高=1300mm×100mm×60mm，通孔孔径为20mm。

具体作业时，如图1所示，晶棒生长完成后，主炉室4恢复至常压，取晶棒1前，首先将承装晶棒1的副室仓升15cm左右（此时炉盖2和主炉室4之间有10cm左右的间隙），此时将本申请所提供开门式长晶机辅助取晶棒治具3置于主炉室和炉盖之间，并手动将晶棒1尾部对应置于本申请治具长方体中部的圆形通孔6内，以从底部对晶棒给予支撑。再后，按照现有操作，推取晶棒车5从副仓室处夹紧晶棒1，并通过晶棒车的升降取出晶棒，这样可以最大程度避免晶棒车夹紧过程中碰断籽晶、或者造成晶棒掉落进而造成损失。