[实用新型]一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置有效
| 申请号： | 202220633067.9 | 申请日： | 2022-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN217222466U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 韩建勋;刘长江 | 申请（专利权）人： | 聚时领臻科技（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/00 | 分类号： | B07C5/00;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38;G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 襄阳蒲公英知识产权代理事务所(普通合伙) 42306 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 310000 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 材料 表面 缺陷 检测 装置 | ||
1.一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置，包括上料装置、检测装置、缓存装置和下料装置，其特征在于：所述上料装置包括电机(5)和上料物料吸取装置(6)，所述上料物料吸取装置(6)用于吸取物料，所述电机(5)用于将上料物料吸取装置(6)及其吸取的物料驱动至检测装置；
所述检测装置包括载物台(4)、正面检测模组(8)和反面检测模组(9)，两组检测模组用于对载物台(4)上的物料正反面进行视觉检测；
所述缓存装置包括缓存搬运轴(10)、缓存物料吸取装置(11)和缓存平台(12)，所述缓存物料吸取装置(11)用于吸取载物台(4)上的物料，所述缓存搬运轴(10)用于带动缓存物料吸取装置(11)及其吸取的物料移动至缓存平台(12)；
所述下料装置包括下料龙门结构(13)和下料龙门吸取装置(14)，所述下料龙门吸取装置(14)用于吸取缓存平台(12)上的物料，所述下料龙门结构(13)用于将下料龙门吸取装置(14)及其吸取的物料移动至下料位。
2.根据权利要求1所述的一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置，其特征在于：所述上料装置还包括上料隔纸吸取装置(7)，所述上料隔纸吸取装置(7)用于吸取上料隔纸仓(1)中的隔纸，所述电机(5)用于将上料隔纸吸取装置(7)及其吸取的隔纸驱动至检测装置的载物台(4)。
3.根据权利要求2所述的一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置，其特征在于：所述上料装置还包括用于存放物料的第一上料料仓(2)和第二上料料仓(3)。
4.根据权利要求2所述的一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置，其特征在于：所述下料装置还包括用于吸取相邻两个物料间隔纸的下料隔纸吸取装置(15)，以及用于将下料隔纸吸取装置(15)及其吸取的隔纸驱动至下料隔纸仓(17)的下料隔纸轴(16)。
5.根据权利要求4所述的一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置，其特征在于：所述下料装置还包括第一下料料仓(18)、第二下料料仓(19)和下料流水带(20)，所述下料龙门结构(13)和下料龙门吸取装置(14)用于将缓存平台(12)的物料转移至第一下料料仓(18)、第二下料料仓(19)或下料流水带(20)中。
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