[实用新型]一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置

说明书

本实用新型涉及集成电路生产技术领域，具体为一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置，包括上料装置、检测装置、缓存装置和下料装置，所述上料装置包括电机和上料物料吸取装置，所述上料物料吸取装置用于吸取物料，所述电机用于将上料物料吸取装置及其吸取的物料驱动至检测装置。本实用新型整机布局结构合理，可实现快速上料，精确检测，同时可根据检测结果进行物料的准确分类，实现全自动化检测。解决了人工检测生产效率低，检测准确率受人为因素波动较大，整个过程费时费力的问题。

技术领域

本实用新型涉及集成电路生产技术领域，具体为一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置。

背景技术

集成电路已成为各行各业实现信息化、智能化的基础，是支撑经济发展的先导性产业。同时，集成电路使用的材料种类层出不穷，如何保证材料的质量成为关键一环。而以人工检测为主的检测方式，生产效率低，检测准确率受人为因素波动较大，整个过程费时费力，制约企业产能的进一步提升；

为解决上述问题，本发明提出一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置，具备检测准确率和检测效率高的优点，解决了人工检测生产效率低，检测准确率受人为因素波动较大，整个过程费时费力的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种片式集成电路材料表面缺陷检测装置，包括上料装置、检测装置、缓存装置和下料装置，所述上料装置包括电机和上料物料吸取装置，所述上料物料吸取装置用于吸取物料，所述电机用于将上料物料吸取装置及其吸取的物料驱动至检测装置；

所述检测装置包括载物台、正面检测模组和反面检测模组，两组检测模组用于对载物台上的物料正反面进行视觉检测；

所述缓存装置包括缓存搬运轴、缓存物料吸取装置和缓存平台，所述缓存物料吸取装置用于吸取载物台上的物料，所述缓存搬运轴用于带动缓存物料吸取装置及其吸取的物料移动至缓存平台；

所述下料装置包括下料龙门结构和下料龙门吸取装置，所述下料龙门吸取装置用于吸取缓存平台上的物料，所述下料龙门结构用于将下料龙门吸取装置及其吸取的物料移动至下料位。

优选的，所述上料装置还包括上料隔纸吸取装置，所述上料隔纸吸取装置用于吸取上料隔纸仓中的隔纸，所述电机用于将上料隔纸吸取装置及其吸取的隔纸驱动至检测装置的载物台。

优选的，所述上料装置还包括用于存放物料的第一上料料仓和第二上料料仓。

优选的，所述下料装置还包括用于吸取相邻两个物料间隔纸的下料隔纸吸取装置，以及用于将下料隔纸吸取装置及其吸取的隔纸驱动至下料隔纸仓的下料隔纸轴。

优选的，所述下料装置还包括第一下料料仓、第二下料料仓和下料流水带，所述下料龙门结构和下料龙门吸取装置用于将缓存平台的物料转移至第一下料料仓、第二下料料仓或下料流水带中。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型整机布局结构合理，可实现快速上料，精确检测，同时可根据检测结果进行物料的准确分类，实现全自动化检测；平行物料仓的结构设计，能够实现设备不停机上下料；上料物料料仓采用可抽拉式结构设计，操作简单便捷；上下料机构隔纸吸取与物料吸取分开设计，动作流程优化；物料一次上料可实现正反面同时检测，避免二次检测对产品造成的额外污染。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型运动示意图；

图3为本实用新型检测装置结构示意图；

图4为本实用新型整机俯视图；

图5为本实用新型整机立体图。