[实用新型]一种自聚焦透镜数值孔径测试装置有效
申请号: | 202220693792.5 | 申请日: | 2022-03-28 |
公开(公告)号: | CN217505161U | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 房艳;王旭东;周晓珊;司春妮 | 申请(专利权)人: | 飞秒光电科技(西安)有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 崔熠 |
地址: | 710000 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自聚焦 透镜 数值孔径 测试 装置 | ||
1.一种自聚焦透镜数值孔径测试装置,其特征在于,包括:沿滑轨滑动设置的光束质量分析仪,以及与所述光束质量分析仪电连接的控制器,所述光束质量分析仪的接收面的一侧设置发光物面,待测自聚焦透镜设置在所述发光物面和所述光束质量分析仪之间且可在所述滑轨上滑动,所述光束质量分析仪检测到所述发光物面发出的光束经所述待测自聚焦透镜的成像区域在所述光束质量分析仪上的投影与预设目标区域重合,所述控制器根据所述发光物面到所述待测自聚焦透镜之间的距离以及所述发光物面的尺寸计算所述待测自聚焦透镜的数值孔径。
2.根据权利要求1所述的自聚焦透镜数值孔径测试装置,其特征在于,所述发光物面上设置有具有预设直径的圆孔,所述圆孔的中心和所述待测自聚焦透镜的中心共线。
3.根据权利要求1或2所述的自聚焦透镜数值孔径测试装置,其特征在于,所述发光物面的材料为黑色吸光材料。
4.根据权利要求1所述的自聚焦透镜数值孔径测试装置,其特征在于,所述待测自聚焦透镜通过驱动件与所述滑轨连接,所述驱动件和所述控制器电连接,以自动控制所述待测自聚焦透镜在所述滑轨上滑动。
5.根据权利要求1所述的自聚焦透镜数值孔径测试装置,其特征在于,所述滑轨上设置位移传感器,以检测所述待测自聚焦透镜在所述滑轨上的位移,所述位移传感器和所述控制器电连接。
6.根据权利要求4所述的自聚焦透镜数值孔径测试装置,其特征在于,所述滑轨上还设置读数显微镜,所述读数显微镜的中心和所述待测自聚焦透镜的中心共线,以用于人工观测。
7.根据权利要求1所述的自聚焦透镜数值孔径测试装置,其特征在于,所述待测自聚焦透镜的数值孔径的计算公式满足:d=sin(arctan(r/L)),其中,d为数值孔径,r为发光物面的半径,L为自聚焦透镜与发光物面之间的距离。
8.根据权利要求3所述的自聚焦透镜数值孔径测试装置,其特征在于,所述黑色吸光材料为碳纳米管。
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