[实用新型]一种自聚焦透镜数值孔径测试装置有效

专利信息
申请号: 202220693792.5 申请日: 2022-03-28
公开(公告)号: CN217505161U 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 房艳;王旭东;周晓珊;司春妮 申请(专利权)人: 飞秒光电科技(西安)有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 崔熠
地址: 710000 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 自聚焦 透镜 数值孔径 测试 装置
【说明书】:

本申请提供一种自聚焦透镜数值孔径测试装置,涉及自聚焦透镜测试技术领域,包括沿滑轨滑动设置的光束质量分析仪,以及与光束质量分析仪电连接的控制器,光束质量分析仪的接收面的一侧设置发光物面,待测自聚焦透镜设置在发光物面和光束质量分析仪之间且可在滑轨上滑动,光束质量分析仪检测到发光物面发出的光束经待测自聚焦透镜的成像区域在光束质量分析仪上的投影与预设目标区域重合,控制器根据发光物面到待测自聚焦透镜之间的距离以及发光物面的尺寸计算待测自聚焦透镜的数值孔径。本测试方式不受限于自聚焦透镜的尺寸和数值孔径的大小,测试精度高,满足规模生产需求;测试装置组建简单,使用方便;具备生产规模化在线检测、快速测试的优点。

技术领域

本申请涉及自聚焦透镜测试技术领域,具体涉及一种自聚焦透镜数值孔径测试装置。

背景技术

数值孔径是光学镜头非常重要的一个技术指标,反映了光学系统收集光的能力,也决定了系统的最小分辨能力。对于自聚焦透镜而言,意义不仅于此,数值孔径除了反应特性,同时也是衡量玻璃材料交换、制备、像差的重要指标,需要在生产实践中经常测量。

目前市场上鲜有针对自聚焦透镜的数值孔径的测量装置,较为成熟的测量仪器“数值孔径计”,使用场景仅限于显微镜系统镜头的测量,特别是当数值孔径大于0.4时,需要借助辅助物镜来操作,操作过程比较复杂且精度低,完全不适合尺寸微小且数值孔径较大的自聚焦透镜的测量。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种自聚焦透镜数值孔径测试装置,能够有效测试自聚焦透镜的数值孔径,且测试简便,效率和精度高。

本申请实施例的一方面,提供了一种自聚焦透镜数值孔径测试装置,包括沿滑轨滑动设置的光束质量分析仪,以及与所述光束质量分析仪电连接的控制器,所述光束质量分析仪的接收面的一侧设置发光物面,待测自聚焦透镜设置在所述发光物面和所述光束质量分析仪之间且可在所述滑轨上滑动,所述光束质量分析仪检测到所述发光物面发出的光束经所述待测透镜的成像区域在所述光束质量分析仪上的投影与预设目标区域重合,所述控制器根据所述发光物面到所述待测自聚焦透镜之间的距离以及所述发光物面的尺寸计算所述待测自聚焦透镜的数值孔径。

可选地,所述发光物面上设置有具有预设直径的圆孔,所述圆孔的中心和所述待测自聚焦透镜的中心共线。

可选地,所述发光物面的材料为黑色吸光材料。

可选地,所述待测自聚焦透镜通过驱动件与所述滑轨连接,所述驱动件和所述控制器电连接,以自动控制所述待测自聚焦透镜在所述滑轨上滑动。

可选地,所述滑轨上设置位移传感器,以检测所述待测自聚焦透镜在所述滑轨上的位移,所述位移传感器和所述控制器电连接。

可选地,所述滑轨上还设置读数显微镜,所述读数显微镜的中心和所述待测自聚焦透镜的中心共线,以用于人工观测。

可选地,所述待测自聚焦透镜的数值孔径的计算公式满足:d=sin(arctan(r/L)),其中,d为数值孔径,r为发光物面的半径,L为自聚焦透镜与发光物面之间的距离。

可选地,所述黑色吸光材料为碳纳米管。

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