[实用新型]用于扫描电镜的位移台机构

权利要求书

1.一种用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，包括：

工作台(9)；

负载台(13)，所述负载台(13)可移动地设置于所述工作台(9)上；

驱动机构(1)和滚珠丝杠组件，所述驱动机构(1)所输出的动力通过所述滚珠丝杠组件传动至所述负载台(13)以控制所述负载台(13)移动；

弹性件(7)，所述弹性件(7)张紧连接于所述负载台(13)与所述工作台(9)之间。

2.根据权利要求1所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述工作台(9)上设置有第一轨道(3)，所述负载台(13)在第一方向上沿所述第一轨道(3)移动。

3.根据权利要求2所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述滚珠丝杠组件包括：

丝杠(4)，所述丝杠(4)与所述驱动机构(1)相连；

螺母(11)，所述螺母(11)与所述负载台(13)相连并与所述丝杠(4)配合，所述螺母(11)在所述丝杠(4)的驱动下沿第一方向移动。

4.根据权利要求3所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述工作台(9)的两端设置有用于支撑所述丝杠(4)转动的轴承(5)。

5.根据权利要求4所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述驱动机构(1)构造为步进电机，所述步进电机的输出轴与所述丝杠(4)之间设置有联轴器(2)。

6.根据权利要求1所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，还包括：限位开关，所述限位开关设置于所述工作台(9)并适于在所述负载台(13)移动到预设位置后控制所述驱动机构(1)。

7.根据权利要求6所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，还包括：

移动台(10)，所述移动台(10)上设置有第二轨道(6)，所述工作台(9)可移动地设置于所述第二轨道(6)上，所述第二轨道(6)在第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向正交。

8.根据权利要求7所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，还包括：

支架(14)，所述支架(14)上设置有第三轨道(12)，所述移动台(10)可移动地设置于所述第三轨道(12)上，所述第三轨道(12)在第三方向延伸，所述第三方向分别与所述第一方向和所述第二方向正交。

9.根据权利要求1所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述工作台(9)上设置有用于限制线束的线束卡。

10.根据权利要求1所述的用于扫描电镜的位移台机构，其特征在于，所述弹性件(7)构造为恒力螺旋弹簧。