[实用新型]碳化硅抛光液增压式过滤装置

权利要求书

1.一种碳化硅抛光液增压式过滤装置，包括过滤器主体（1），其特征在于，所述的过滤器主体（1）内部设置有若干过滤芯体（2），所述的过滤芯体（2）与过滤器主体（1）之间设置有增压机构（3），所述的过滤芯体（2）之间设置有循环过滤机构（4）；所述的过滤器主体（1）包括底座（11）和盖体（12），所述的底座（11）和盖体（12）之间设置有密封机构（5）以及分隔板（13），所述的过滤器主体（1）内部为过滤腔，所述的过滤腔由分隔板（13）分为上腔体（14）和下腔体（15）；所述的增压机构（3）包括与上腔体（14）连通的增压泵（31），所述的过滤器主体（1）配备有与上腔体（14）连通的气压表（32）和泄压阀（33），所述的增压泵（31）通过回气管（34）与下腔体（15）连通，所述的回气管（34）内设置有过滤阀（35）。

2.根据权利要求1所述的碳化硅抛光液增压式过滤装置，其特征在于，所述的上腔体（14）上端设置有进液口（16），所述的下腔体（15）下端设置有出液口（17），所述的增压机构（3）设置在上腔体（14）内，所述的循环过滤机构（4）设置在上腔体（14）和下腔体（15）之间。

3.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液增压式过滤装置，其特征在于，所述的过滤芯体（2）设置在下腔体（15）内且上端与分隔板（13）连接固定，所述的过滤芯体（2）上端与上腔体（14）连通，所述的上腔体（14）内设置有与过滤芯体（2）上端周围且呈漏斗状的导流板（18）。

4.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液增压式过滤装置，其特征在于，所述的密封机构（5）包括设置在底座（11）和盖体（12）边口处且沿周向分布的密封边（51），所述的密封边（51）之间设置有相对的密封槽（52），所述的密封槽（52）内侧贴合固定有密封环（53），所述的密封环（53）与密封槽（52）外侧之间填充有密封条（54），所述的底座（11）和盖体（12）边口处内侧设置有供分隔板（13）贴合固定的密封台阶面（55）。

5.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液增压式过滤装置，其特征在于，所述的循环过滤机构（4）包括循环过滤管（41），所述的循环过滤管（41）下端延伸至下腔体（15）底部，所述的循环过滤管（41）上端延伸至上腔体（14）顶部且配备有单向阀（42），所述的循环过滤管（41）与循环泵（43）连接。

6.根据权利要求2所述的碳化硅抛光液增压式过滤装置，其特征在于，所述的过滤器主体（1）的进液口（16）和出液口（17）分别设置有通断阀（44），所述的过滤器主体（1）外侧设置有控制箱体（45）。

7.根据权利要求1所述的碳化硅抛光液增压式过滤装置，其特征在于，所述的过滤器主体（1）固定在安装支架（6）上，所述的过滤器主体（1）上端设置有延伸至过滤器主体（1）内部的搅拌机构（7）。

8.根据权利要求7所述的碳化硅抛光液增压式过滤装置，其特征在于，所述的安装支架（6）包括若干竖直设置有的支撑杆（61），所述的支撑杆（61）与过滤器主体（1）下端之间连接有加强杆（62），所述的支撑杆（61）下端固定有带螺纹孔的安装座（63）。

9.根据权利要求8所述的碳化硅抛光液增压式过滤装置，其特征在于，所述的搅拌机构（7）包括设置在过滤器主体（1）上端的搅拌电机（71），所述的搅拌电机（71）输出端连接有搅拌杆（72）且所述的搅拌杆（72）延伸至过滤器主体（1）内部，所述的搅拌杆（72）端头固定有若干中心对称布置的搅拌叶片（73）。