[实用新型]一种转盘式芯片分选机摆臂机构

说明书

本实用新型提供了一种转盘式芯片分选机摆臂机构，属于LED芯片分选机技术领域，包括电机座、驱动组件、负压组件、吸附组件以及密封组件，所述驱动组件安装在所述电机座一侧，所述吸附组件设置在所述驱动组件输出端并由所述驱动组件带动往复摆动，所述吸附组件还与所述负压组件相连，所述负压组件用于使所述吸附组件产生负压，以将芯片吸附在所述吸附组件一侧。本实用新型实施例中，可对晶圆环上的LED芯片进行质量或特性挑拣分类，通过CCD检测模组检测，具有芯片分选效果好以及分选效率高的优点。

技术领域

本实用新型属于LED芯片分选机技术领域，具体是一种转盘式芯片分选机摆臂机构。

背景技术

在半导体制程中，通过芯片摆臂机构对晶圆环上的LED芯片进行质量或特性挑拣分类。芯片挑选是通过摆臂机构上的吸嘴吸取晶圆环上已经排列好的芯片，通过CCD模组检测后，再将摆臂吸取的芯片旋转180°并按设置好的路径排列黏贴至分类环片上；所述分类环片是空的铁片蓝膜支架、具有黏贴作用的蓝膜组成。

现有的芯片分选机构进行芯片分选时存在分选效果差以及分选效率低下的缺陷，继续改进。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型实施例要解决的技术问题是提供一种转盘式芯片分选机摆臂机构。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：

一种转盘式芯片分选机摆臂机构，包括电机座、驱动组件、负压组件、吸附组件以及密封组件，

所述驱动组件安装在所述电机座一侧，

所述吸附组件设置在所述驱动组件输出端并由所述驱动组件带动往复摆动，

所述吸附组件还与所述负压组件相连，

所述负压组件用于使所述吸附组件产生负压，以将芯片吸附在所述吸附组件一侧。

作为本实用新型进一步的改进方案：所述吸附组件包括摆臂吸嘴杆以及设置在所述摆臂吸嘴杆一端的吸嘴，

所述摆臂吸嘴杆远离所述吸嘴的一端与所述驱动组件相连，所述负压组件包括气管，所述气管一端与所述摆臂吸嘴杆相连，另一端与所述滑装置相连。

作为本实用新型进一步的改进方案：所述驱动组件包括伺服电机，

所述伺服电机输出端连接有电机抱紧块，所述电机座通过限位块与螺栓固定连接至大板台面上，

所述电机抱紧块一侧连接有底座盖板，所述摆臂吸嘴杆固定设置在所述底座盖板远离所述电机抱紧块的一侧。

作为本实用新型进一步的改进方案：所述气管上设置有感应器，所述摆臂吸嘴杆与所述气嘴之间通过O型圈相连。

作为本实用新型再进一步的改进方案：所述摆臂吸嘴杆远离所述吸嘴的一端还设置有摆臂固定块、镜片盖板以及蓝宝石片。

作为本实用新型再进一步的改进方案：所述底座盖板远离所述电机抱紧块的一侧还固定设置有摆臂以及摆臂底座，所述摆臂上穿设有拉紧螺栓，

所述拉紧螺栓与所述摆臂之间通过弹性垫相连，所述拉紧螺栓一端设置有调节螺母，所述拉紧螺栓与所述摆臂底座之间通过弹簧相连。

作为本实用新型再进一步的改进方案：所述摆臂与所述底座盖板之间还通过压片和摆臂弹片相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型实施例中，可对晶圆环上的LED芯片进行质量或特性挑拣分类，通过CCD检测模组检测，具有芯片分选效果好以及分选效率高的优点。

附图说明

图1为一种转盘式芯片分选机摆臂机构的结构示意图。

具体实施方式