[实用新型]一种基于硅片容器的分合片机构及系统

说明书

本实用新型公开了一种基于硅片容器的分合片机构及系统，包括硅片推送组件，包括第一推送模块、第二推送模块、吸盘模块，第一推送模块安装于待插片的硅片容器的一侧，第二推送模块安装于第一推送模块的一侧，且吸盘模块安装于第二推送模块内；硅片定位组件，包括第一驱动件、第一移动件，第一驱动件安装于待插片的硅片容器的一端，且与第一移动件连接，第一移动件设有若干齿槽；硅片抓取组件，包括第二驱动件、第二移动件、转动件、抓取模块，第二移动件分别与第二驱动件以及转动件连接，转动件与抓取模块连接。本实用新型将硅片容器作为硅片搬运的载具，能够实现工站式作业，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片运输技术领域，具体涉及一种基于硅片容器的分合片机构及系统。

背景技术

随着科技的发展，硅片的需求量也在日益增大；硅片的加工包括硅材先开方，再切片；其中，切片是晶体硅片加工工艺中必不可少的工艺之一，切片后得到的硅片层叠在一起，需要分片后插入装载容器中进行运输；

目前，传统设备对硅片的分合片是：硅片在硅片容器外，通过大型龙门分合片双抓手完成硅片分合片，其存在占地面积大，成本高昂，效率低的缺陷。

因此，目前亟需一种能够直接在硅片容器中分片或者合片，且提高效率的分合片机构。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中分合片机构占地面积大、效率低的缺陷。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种基于硅片容器的分合片机构，包括：

硅片推送组件，包括第一推送模块、第二推送模块、吸盘模块，所述第一推送模块安装于待插片的硅片容器的一侧，所述第二推送模块安装于所述第一推送模块的一侧，且所述吸盘模块安装于所述第二推送模块内；

硅片定位组件，包括第一驱动件、第一移动件，所述第一驱动件安装于待插片的硅片容器的一端，且与所述第一移动件连接，所述第一移动件设有若干齿槽；

硅片抓取组件，包括第二驱动件、第二移动件、转动件、抓取模块，所述第二移动件分别与所述第二驱动件以及转动件连接，所述转动件与所述抓取模块连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第一推送模块包括第三驱动件、升降件、顶齿组，所述升降件分别与所述第三驱动件以及顶齿组连接，所述顶齿组用于与待插片的硅片容器内置放的硅片抵触。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第二推送模块的结构与所述第一推送模块相同。

作为本实用新型的一种优选方式，所述吸盘模块包括第四驱动件、第一移动块、第五驱动件、第二移动块、吸盘件，所述第四驱动件安装于所述第二推送模块内，且与所述第一移动块连接；所述第五驱动件安装于所述第一移动块内，且与第二移动块连接；所述吸盘件安装于所述第二移动块上。

作为本实用新型的一种优选方式，所述吸盘件设有第一吸附槽，所述抓取模块设有第二吸附槽，通过所述第一吸附槽或第二吸附槽吸附待插片的硅片。

作为本实用新型的一种优选方式，所述硅片定位组件包括从动件，所述从动件与所述第一驱动件连接，且所述第一移动件与所述从动件连接，通过所述第一驱动件带动从动件运动，通过所述从动件带动所述第一移动件同步运动，进而通过所述第一移动件将待插片的硅片置中。

作为本实用新型的一种优选方式，还包括容器定位组件，所述容器定位组件包括第一定位件、第二定位件，所述第一定位件与第二位件之间设有用于置放待插片的硅片容器的置放工位。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第一定位件包括第六驱动件、抵触件，所述抵触件与所述第六驱动件连接；所述第二定位件与所述第一定位件结构相同。

作为本实用新型的一种优选方式，所述硅片容器定位件组件还包括缓冲件，所述缓冲件安装于所述第二定位件的一侧。