[实用新型]循环清洗装置有效
申请号: | 202221186493.9 | 申请日: | 2022-05-17 |
公开(公告)号: | CN217595342U | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 龚庆;裴文龙;汤超;姜涛 | 申请(专利权)人: | 江苏启威星装备科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B11/02;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 226300 江苏省南通市通州区金*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 循环 清洗 装置 | ||
1.一种循环清洗装置,其特征在于,包括:
反应槽,具有主槽和副槽,所述主槽用于容纳待清洗件,并具有主槽进液口,所述副槽具有设置高度高于所述主槽进液口的副槽出液口,所述副槽出液口连通所述主槽进液口;
循环泵,一端连接所述主槽,另一端连接所述副槽,所述循环泵配置为能够将所述主槽内的清洗液从所述主槽内抽取至所述副槽内。
2.根据权利要求1所述的循环清洗装置,其特征在于,所述主槽还具有主槽出液口,所述副槽还具有副槽进液口,所述副槽进液口连通所述主槽出液口;所述循环泵具有输入端和输出端,所述输入端通过第一管道连通所述主槽出液口,所述输出端通过第二管道连通所述副槽进液口。
3.根据权利要求2所述的循环清洗装置,其特征在于,所述第一管道上设有第一通断阀,所述第一通断阀用于控制连通或隔断所述主槽出液口与所述循环泵的输入端;所述第二管道上设有第二通断阀,所述第二通断阀用于控制连通或隔断所述副槽进液口与所述循环泵的输出端。
4.根据权利要求2所述的循环清洗装置,其特征在于,所述反应槽包括反应槽体和隔板,所述反应槽体具有容纳腔,所述隔板设于所述容纳腔中,所述隔板将所述容纳腔分隔为所述主槽和所述副槽。
5.根据权利要求4所述的循环清洗装置,其特征在于,所述隔板开设有多个贯通所述隔板相对两侧的溢流口,每个所述溢流口连通所述主槽和所述副槽。
6.根据权利要求4所述的循环清洗装置,其特征在于,所述隔板顶端至所述容纳腔的底壁的距离小于所述容纳腔的深度,以使所述副槽出液口连通所述主槽进液口。
7.根据权利要求4所述的循环清洗装置,其特征在于,所述反应槽还包括用于放置所述待清洗件的载具,所述载具设于所述主槽内,所述载具的底壁开设有多个间隔排布的匀流孔。
8.根据权利要求1-7任一项所述的循环清洗装置,其特征在于,所述副槽的容积小于所述主槽的容积。
9.根据权利要求1所述的循环清洗装置,其特征在于,所述循环清洗装置还包括托盘、废液槽和连通所述托盘与所述废液槽的第三管道,所述反应槽在所述托盘所在平面的正投影落在所述托盘之内。
10.根据权利要求1所述的循环清洗装置,其特征在于,所述循环清洗装置还包括液位监控器,所述液位监控器设于所述主槽内,用于监控所述清洗液的液面高度。
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