[实用新型]循环清洗装置

说明书

本实用新型涉及一种循环清洗装置，包括反应槽和循环泵，其中反应槽具有主槽和副槽，主槽用于容纳待清洗件，主槽具有主槽进液口，副槽具有设置高度高于主槽进液口的副槽出液口，副槽出液口连通主槽进液口；循环泵的一端连接主槽，另一端连接副槽，循环泵配置为能够将主槽内的清洗液抽取至副槽内，直至副槽内的清洗液溢流回至主槽内，以循环清洗待清洗件。在该循环过程中，气泡较多地产生于副槽中，从而消除气泡对待清洗件的不利影响。同时，由于主槽容积大于副槽容积，主槽中并不需要流出太多清洗液即可填满副槽，副槽也不需溢流回太多清洗液即可填满主槽，从而可使副槽的容积大大减少，进而缩小了整个循环清洗装置的体积，降低了生产制造成本。

技术领域

本实用新型涉及湿法处理技术领域，特别是涉及一种循环清洗装置。

背景技术

光伏发电已经成为一种可替代化石能源的技术，这依赖于近年不断降低的生产成本和光电转换效率的提升。按照光伏电池片的材质，太阳能电池大致可以分为晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池。目前，以高纯度硅材作为主要原材料的晶体硅太阳能电池是主流产品，所占的比例在80％以上。晶体硅太阳能电池的制作过程需要经过硅片表面镀膜、扩散、印刷等多道工序，镀膜之前首先必须对硅片进行表面清洗和制绒。清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各类污染物，并制作能够减少表面太阳光反射的绒面结构。有效的绒面结构使得入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光的吸收，降低了反射率，有助于提高电池的性能。

现有清洗制绒设备往往是采用槽体容器盛装水或配比的化学药品对目标物体进行清洗或化学腐蚀处理。在对槽体容器添加药液时，需要让药液在槽内浓度、温度等各个工艺工况分布均匀。目前行业内采用的槽体容器，其槽体通常由一个主反应槽和一个副槽构成。设备运行时，主反应槽内的溶液通过溢流的方式流入副槽，而副槽中的溶液再通过循环泵回到主反应槽中完成一个循环，由此实现槽体内溶液的定时循环。但在此循环过程中，主反应槽中的药液是从下至上流动，由于湿法的不可控，可能产生循环气泡，此时硅片正处于气泡的上方，过多的气泡导致硅片不良品的增加，极大的限制了设备产能及产品良率。而且，该种循环方式对副槽容积具有一定要求，副槽内的药液被泵入主反应槽后，起码要能够填满主反应槽，使液位升高至主槽壁上边缘而产生溢流，但由于硅片放置在主反应槽中，因而主反应槽的容积更大，为了能够使溢流循环起来，需要副槽也具有较大的容积，这样就使得整个设备的体积较大。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的循环清洗装置中主槽气泡较多，导致硅片不良品增加，以及副槽容积较大，导致整个设备体积较大的问题，提供一种待清洗硅片不受气泡影响，且体积较小的循环清洗装置。

根据本申请的一个方面，提供一种循环清洗装置，包括：

反应槽，具有主槽和副槽，所述主槽用于容纳待清洗件，并具有主槽进液口，所述副槽具有设置高度高于所述主槽进液口的副槽出液口，所述副槽出液口连通所述主槽进液口；

循环泵，一端连接所述主槽，另一端连接所述副槽，所述循环泵配置为能够将所述主槽内的清洗液从所述主槽内抽取至所述副槽内。

在其中一个实施例中，所述主槽还具有与主槽出液口，所述副槽还具有副槽进液口，所述副槽进液口连通所述主槽出液口；所述循环泵具有输入端和输出端，所述输入端通过第一管道连通所述主槽出液口，所述输出端通过第二管道连通所述副槽进液口。

在其中一个实施例中，所述第一管道上设有第一通断阀，所述第一通断阀用于控制连通或隔断所述主槽出液口与所述循环泵的输入端；所述第二管道上设有第二通断阀，所述第二通断阀用于控制连通或隔断所述副槽进液口与所述循环泵的输出端。

在其中一个实施例中，所述反应槽包括反应槽体和隔板，所述反应槽体具有容纳腔，所述隔板设于所述容纳腔中，所述隔板将所述容纳腔分隔为所述主槽和所述副槽。

在其中一个实施例中，所述隔板开设有多个贯通所述隔板相对两侧的溢流口，每个所述溢流口连通所述主槽和所述副槽。