[实用新型]一种MOCVD工艺使用的加热装置

权利要求书

1.一种MOCVD工艺使用的加热装置，包括工作箱(3)，其特征在于：所述工作箱(3)的下表面固定连接有支撑块(301)，所述工作箱(3)的下表面设置有保护壳(1)，所述保护壳(1)的内部设置有传动机构，所述保护壳(1)的下表面设置有电机(2)，所述工作箱(3)的内侧面固定连接有安装板(302)，所述安装板(302)上设置有滑杆(201)、丝杆(202)；

所述丝杆(202)的外表面螺纹连接有移动板(4)，所述移动板(4)的中部设置有加热装置(401)，所述移动板(4)的上表面且位于加热装置(401)的外侧设置有反射板(402)。

2.根据权利要求1所述的一种MOCVD工艺使用的加热装置，其特征在于：所述传动机构包括主动带轮(101)、从动带轮(103)，所述主动带轮(101)与从动带轮(103)之间设置有连接带(102)，所述电机(2)的输出端与主动带轮(101)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种MOCVD工艺使用的加热装置，其特征在于：所述丝杆(202)的数量有两个，左侧所述丝杆(202)与主动带轮(101)固定连接，右侧所述丝杆(202)与从动带轮(103)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种MOCVD工艺使用的加热装置，其特征在于：所述滑杆(201)位于丝杆(202)的外侧，所述滑杆(201)与移动板(4)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种MOCVD工艺使用的加热装置，其特征在于：所述反射板(402)的内侧面为倾斜设置，且倾斜面与水平面之间的夹角为四十五度，所述反射板(402)的数量有两个。

6.根据权利要求1所述的一种MOCVD工艺使用的加热装置，其特征在于：所述安装板(302)的数量有两个，两个所述安装板(302)位于反射板(402)的外侧。

7.根据权利要求1所述的一种MOCVD工艺使用的加热装置，其特征在于：所述支撑块(301)的数量有两个。

8.根据权利要求1所述的一种MOCVD工艺使用的加热装置，其特征在于：所述保护壳(1)位于支撑块(301)的内侧。