[实用新型]一种氦检设备充气回收系统

说明书

本实用新型公开了一种氦检设备充气回收系统，包括高压氦气罐、氦气储气罐、回收罐、压缩机、机械泵、检测管道和抽真空泵，所述抽真空泵安装在所述检测管道的一端，所述检测管道的另一端安装在氦检设备的检测工位上，所述氦气储气罐、回收罐和机械泵通过管道并联在所述检测管道上，所述压缩机通过管道连接在所述氦气储气罐和回收罐之间，所述机械泵通过管道连接在所述回收罐上，所述高压氦气罐通过管道连接在所述回收罐上，该氦检设备充气回收系统能够回收氦气进行再利用，降低检测成本，时刻保障氦气的压力和浓度的。

技术领域

本实用新型涉及一种氦检设备充气回收系统。

背景技术

现有的氦检设备将氦气充入到检测工位检测后大多直接将氦气给排出去了，没有回收利用，比较浪费，导致氦气检测成本比较高，而且缺乏氦气自动补充功能，不能时刻保障氦气的压力和浓度。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种能够回收氦气进行再利用，降低检测成本，时刻保障氦气的压力和浓度的氦检设备充气回收系统。

本实用新型提出的一种氦检设备充气回收系统，其特征在于：包括高压氦气罐、氦气储气罐、回收罐、压缩机、机械泵、检测管道和抽真空泵，所述抽真空泵安装在所述检测管道的一端，所述检测管道的另一端安装在氦检设备的检测工位上，所述氦气储气罐、回收罐和机械泵通过管道并联在所述检测管道上，所述压缩机通过管道连接在所述氦气储气罐和回收罐之间，所述机械泵通过管道连接在所述回收罐上，所述高压氦气罐通过管道连接在所述回收罐上。

进一步的，所述抽真空泵与所述检测管道之间连接有第一电磁阀。

进一步的，所述氦气储气罐与所述检测管道之间连接有第二电磁阀。

进一步的，所述回收罐与所述检测管道之间连接有第三电磁阀。

进一步的，所述机械泵与所述检测管道之间连接有第四电磁阀。

进一步的，所述高压氦气罐与所述回收罐之间连接有第五电磁阀。

进一步的，所述压缩机与所述回收罐之间连接有第六电磁阀。

进一步的，所述压缩机与所述氦气储气罐之间连接有第七电磁阀。

进一步的，所述氦气储气罐上设有压力传感器和浓度监测器。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：该氦检设备充气回收系统通过机械泵和回收罐的配合能够回收氦气进行再利用，从而降低检测成本，通过高压氦气罐能够对氦气储气罐进行氦气补充，从而时刻保障检测工位上氦气的压力和浓度。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1为本实用新型氦检设备充气回收系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例：一种氦检设备充气回收系统，包括高压氦气罐1、氦气储气罐2、回收罐3、压缩机4、机械泵5、检测管道6和抽真空泵7，所述抽真空泵安装在所述检测管道的一端，所述检测管道的另一端安装在氦检设备的检测工位8上，所述氦气储气罐、回收罐和机械泵通过管道并联在所述检测管道上，所述压缩机通过管道连接在所述氦气储气罐和回收罐之间，所述机械泵通过管道连接在所述回收罐上，所述高压氦气罐通过管道连接在所述回收罐上。

所述抽真空泵与所述检测管道之间连接有第一电磁阀9。

所述氦气储气罐与所述检测管道之间连接有第二电磁阀10。