[实用新型]一种用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床

权利要求书

1.一种用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床，包括有床身，床身上面两端分别安设进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头，在进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头之间安设有保温炉，保温炉内对应进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头的旋转轴线安设有高频微波谐振腔，所述的高频微波谐振腔通过立柱与安设在保温炉外的直线往复运行装置相连，使得高频微波谐振腔沿旋转轴线往复运行，其特征在于所述的直线往复运行装置为直线电机驱动控制装置。

2.按权利要求1所述的用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床，其特征在于所述的直线电机驱动控制装置包括滑台、导轨组、磁轨组、线圈组、直线电机模组和连接支座，所述的导轨组通过连接支座与床身固联，导轨组上配置线圈组和磁轨组，磁轨组沿导轨组以磁力悬浮方式往复移动，所述的磁轨组与滑台连接，驱动滑台往复移动。

3.按权利要求2所述的用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床，其特征在于所述的滑台与立柱连接，立柱上端与高频微波谐振腔相连。

4.按权利要求2所述的用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床，其特征在于所述的直线电机模组包括驱动控制系统、编码系统、总线控制系统和限位系统。

5.按权利要求4所述的用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床，其特征在于所述的直线电机模组连接有运动位置读取显示单元，用于精确显示高频微波谐振腔的运行位置。

6.按权利要求2所述的用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床，其特征在于所述的直线电机驱动控制装置安设于保温炉下部，床身的一侧；所述的连接支座为可调连接支座，连接支座可沿水平和垂直方向调节。

7.按权利要求2或4所述的用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床，其特征在于所述的导轨组上下平行设置两组，并相应配置线圈组和磁轨组，且两组磁轨组同步移动，所述的导轨组安设方向与进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头的旋转轴线相平行。

8.按权利要求2或4所述的用于光纤预制件制备的PCVD沉积车床，其特征在于所述的磁轨组上安设有光栅编码器，所述的光栅编码器精度为40～60nm。