[实用新型]一种关键尺寸测试条结构有效
| 申请号： | 202221464366.0 | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN217444387U | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 程洋;杨宗凯;陈信全;汪华 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 吴向青 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 关键 尺寸 测试 结构 | ||
1.一种关键尺寸测试条结构，其特征在于，包括：
多个密集图案，相邻的所述密集图案之间具有第一间隙，多个所述密集图案形成有图形密集测试区；
多个稀疏图案，设置在所述图形密集测试区的一侧，且所述稀疏图案和所述密集图案之间具有第二间隙，所述稀疏图案形成有图形稀疏测试区；
多个辅助图案，设置在所述图形密集测试区的侧部，且所述辅助图案和所述密集图案之间、所述辅助图案和所述稀疏图案之间具有第三间隙，所述第一间隙、所述第二间隙和所述第三间隙形成有图形间隙测试区；
其中，所述辅助图案包括至少一个拐角图形，且所述拐角图形形成有图形角度测试区。
2.根据权利要求1所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述密集图案为条形，且多个所述密集图案呈线性阵列排布。
3.根据权利要求2所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述第一间隙设置于相邻的所述密集图案的侧边线之间。
4.根据权利要求1所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述稀疏图案为条形，且所述稀疏图案的一端与所述辅助图案的端部相邻近。
5.根据权利要求1所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述第二间隙设置于所述稀疏图案的端部和所述密集图案的端部之间。
6.根据权利要求1所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述辅助图案为凹槽状，且所述辅助图案包括凹部。
7.根据权利要求6所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述密集图案沿水平方向的投影位于所述凹部内。
8.根据权利要求7所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述第三间隙设置于所述辅助图案的端部和所述稀疏图案的侧边线之间，以及所述凹部的边线和所述密集图案的端部之间。
9.根据权利要求1所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述辅助图案有2个，且2个所述辅助图案对称设置于所述图形密集测试区的两侧。
10.根据权利要求1所述的关键尺寸测试条结构，其特征在于：所述图形密集测试区的图形数量多于所述图形稀疏测试区。
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