[实用新型]取棒工装有效
申请号: | 202221469061.9 | 申请日: | 2022-06-13 |
公开(公告)号: | CN217755814U | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 宋涛;汪佳;徐涛;王晓明;李兆颖;周来平 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | B65G49/05 | 分类号: | B65G49/05 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工装 | ||
1.一种取棒工装,其特征在于,包括:
支架组件;
多个夹爪组件,多个所述夹爪组件在上下方向设有间隔排布于所述支架组件的厚度方向上的一侧表面,每个所述夹爪组件包括两个夹爪,两个所述夹爪沿第一方向间隔开,两个所述夹爪分别与所述支架组件沿所述第一方向滑移配合;
底托组件,所述底托组件包括底托,所述底托设于所述支架组件的下端,所述底托具有适于与晶棒配合的贯穿孔;
两个防护件,两个所述防护件的上端一一对应地连接至位于最下方的所述夹爪组件的两个所述夹爪的底端,两个所述防护件的下端均与所述底托间隔开,两个所述防护件适于在相应的所述夹爪的带动下抱紧或松开晶棒。
2.根据权利要求1所述的取棒工装,其特征在于,所述防护件与所述底托的间距是H,所述H满足:100mm≤H≤300mm。
3.根据权利要求2所述的取棒工装,其特征在于,所述防护件包括:
第一固定板,所述第一固定板与所述夹爪的底壁通过螺纹紧固件相连;
第二固定板,所述第二固定板设于所述第一固定板的下方,所述第一固定板和所述第二固定板平行间隔开;
多个连接杆,多个所述连接杆连接在所述第一固定板和所述第二固定板之间,多个所述连接杆沿相应的所述夹爪的延伸方向排布,每个所述连接杆在上下方向延伸。
4.根据权利要求1所述的取棒工装,其特征在于,所述夹爪的内侧设有第一石墨垫片,所述第一石墨垫片与所述夹爪通过螺纹紧固件相连。
5.根据权利要求1所述的取棒工装,其特征在于,所述底托的上表面设有多个晶棒挡块,多个所述晶棒挡块环绕所述贯穿孔设置,多个所述晶棒挡块适于与吊料晶棒的外周壁抵接配合。
6.根据权利要求5所述的取棒工装,其特征在于,所述晶棒挡块与所述底托为一体件。
7.根据权利要求1所述的取棒工装,其特征在于,还包括:
多个支撑件,多个所述支撑件在上下方向上间隔开设于所述支架组件,所述支撑件包括依次相连的第一段、第二段和第三段,所述第二段与所述支架组件间隔开且沿所述第一方向延伸,所述第一段与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述支架组件的方向连接至所述第二段的一端,所述第三段的一端与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述支架组件的方向连接至所述第二段的另一端,所述第二段的部分朝向靠近所述支架组件的方向凹入以限定出适于定位所述晶棒的凹槽。
8.根据权利要求1所述的取棒工装,其特征在于,所述支架组件的另一侧设有挂载机构,所述挂载机构与取晶臂卡接相连,所述挂载机构包括第一连接段、卡轴和第二连接段,所述卡轴与所述支架组件间隔开排布且沿所述第一方向延伸,所述第一连接段的一端与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述挂载机构的方向连接至所述卡轴的一端,所述第二连接段的一端与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述挂载机构的方向连接至所述卡轴的另一端,所述卡轴背离所述支架组件的一侧设有平面抵止部。
9.根据权利要求8所述的取棒工装,其特征在于,支架组件包括:
架体;
第一加强板和第二加强板,所述第一加强板和所述第二加强板沿所述第一方向间隔开且在上下方向延伸,所述第一加强板具有在上下方向上间隔开排布的多个第一定位孔,所述第二加强板具有在上下方向上间隔开排布的多个第二定位孔,第一紧固螺栓穿过所述第一连接段连接至对应的所述第一定位孔,第二紧固螺栓穿过所述第二连接段连接至对应的所述第二定位孔。
10.根据权利要求9所述的取棒工装,其特征在于,还包括:
调节固定板,所述调节固定板设于所述架体且位于所述第一连接段和所述第二连接段的上方;
第一调节螺栓,所述第一调节螺栓与所述调节固定板螺纹相连,所述第一调节螺栓向下穿过所述调节固定板抵接至所述第一连接段的顶部;
第二调节螺栓,所述第二调节螺栓与所述调节固定板螺纹相连,所述第二调节螺栓向下穿过所述调节固定板抵接至所述第二连接段的顶部。
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