[实用新型]取棒工装有效

专利信息
申请号: 202221469061.9 申请日: 2022-06-13
公开(公告)号: CN217755814U 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 宋涛;汪佳;徐涛;王晓明;李兆颖;周来平 申请(专利权)人: 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
主分类号: B65G49/05 分类号: B65G49/05
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 工装
【说明书】:

实用新型公开了一种取棒工装,包括:支架组件;多个夹爪组件,多个夹爪组件在上下方向设有间隔排布于支架组件的厚度方向上的一侧表面,夹爪组件包括两个夹爪,两个夹爪分别与支架组件沿第一方向滑移配合;底托组件,底托组件包括底托,底托设于支架组件的下端,底托具有适于与晶棒配合的贯穿孔;两个防护件,两个防护件的上端一一对应地连接至位于最下方的夹爪组件的两个夹爪的底端,两个防护件的下端均与底托间隔开,两个防护件适于在相应的夹爪的带动下抱紧或松开晶棒。根据本实用新型的取棒工装,既能夹取长度较长的标准晶棒,又能夹取长度较短的非标准晶棒,可满足不同场景的使用要求。

技术领域

本实用新型涉及晶体制备领域,尤其是涉及一种取棒工装。

背景技术

相关技术中,一般采用取棒工装来夹取晶棒,然而相关技术中的取棒工装,只适用于夹取标准晶棒,当晶棒不满足标准长度,长度较小,例如300mm-800mm时,晶棒不能被夹爪夹持,因而无法满足不同场景的使用要求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型在于提出一种取棒工装,既能夹取长度较长的标准晶棒,又能夹取长度较短的非标准晶棒,可满足不同场景的使用要求。

根据本实用新型实施例的取棒工装,包括:支架组件;多个夹爪组件,多个所述夹爪组件在上下方向设有间隔排布于所述支架组件的厚度方向上的一侧表面,每个所述夹爪组件包括两个夹爪,两个所述夹爪沿第一方向间隔开,两个所述夹爪分别与所述支架组件沿所述第一方向滑移配合;底托组件,所述底托组件包括底托,所述底托设于所述支架组件的下端,所述底托具有适于与晶棒配合的贯穿孔;两个防护件,两个所述防护件的上端一一对应地连接至位于最下方的所述夹爪组件的两个所述夹爪的底端,两个所述防护件的下端均与所述底托间隔开,两个所述防护件适于在相应的所述夹爪的带动下抱紧或松开晶棒。

根据本实用新型实施例的取棒工装,通过设置多个夹爪组件和两个防护件,取棒工装既能夹取长度较长的标准晶棒,又能夹取长度较短的非标准晶棒,可满足不同场景的使用要求。

在本实用新型的一些实施例中,所述防护件与所述底托的间距是H,所述H满足:100mm≤H≤300mm。

在本实用新型的一些实施例中,所述防护件包括:第一固定板,所述第一固定板与所述夹爪的底壁通过螺纹紧固件相连;第二固定板,所述第二固定板设于所述第一固定板的下方,所述第一固定板和所述第二固定板平行间隔开;多个连接杆,多个所述连接杆连接在所述第一固定板和所述第二固定板之间,多个所述连接杆沿相应的所述夹爪的延伸方向排布,每个所述连接杆在上下方向延伸。

在本实用新型的一些实施例中,所述夹爪的内侧设有第一石墨垫片,所述第一石墨垫片与所述夹爪通过螺纹紧固件相连。

在本实用新型的一些实施例中,所述底托的上表面设有多个晶棒挡块,多个所述晶棒挡块环绕所述贯穿孔设置,多个所述晶棒挡块适于与吊料晶棒的外周壁抵接配合。

在本实用新型的一些实施例中,所述晶棒挡块与所述底托为一体件。

在本实用新型的一些实施例中,所述取棒工装还包括:多个支撑件,多个所述支撑件在上下方向上间隔开设于所述支架组件,所述支撑件包括依次相连的第一段、第二段和第三段,所述第二段与所述支架组件间隔开且沿所述第一方向延伸,所述第一段与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述支架组件的方向连接至所述第二段的一端,所述第三段的一端与所述支架组件相连且另一端沿着垂直于所述支架组件的方向连接至所述第二段的另一端,所述第二段的部分朝向靠近所述支架组件的方向凹入以限定出适于定位所述晶棒的凹槽。

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