[实用新型]一种位移检测装置

说明书

本申请公开了一种位移检测装置，位移检测装置包括平台、第一位移台、第二位移台、位移台组件、第一检测组件、第二检测组件、电源和控制及运算模块，第一位移台沿第一方向运动，第二位移台沿第二方向运动，且压电陶瓷装载于第二位移台，第一检测组件检测通电后的压电陶瓷沿第一方向的位移，位移台组件沿第一方向和第三方向运动，第二检测组件检测通电后的压电陶瓷沿第三方向的位移，电源向压电陶瓷供电，控制及运算模块根据电源输出的电压值、第一检测组件检测到的位移、第二检测组件检测到的位移计算压电陶瓷的位移。上述位移检测装置可实现压电陶瓷在全行程下的测试，且结构简单，安装容易，具有操作简便、自动化程度高的特点。

技术领域

本申请涉及检测设备技术领域，特别涉及一种位移检测装置。

背景技术

众所周知，压电陶瓷材料具有高分辨率、高响应频率、大推力等优点，其被广泛应用于航空航天、半导体、生物工程、精密检测及精密加工等领域。但同时由于压电陶瓷具有磁滞和蠕变等特性使其无法以开环形式应用于精密位移控制领域以及各种超精密平台上，因此需要对每个压电陶瓷进行位移测试。

根据逆压电效应(当沿压电陶瓷极化方向施加外部电场时，压电陶瓷在极化方向上伸长或缩小)，压电陶瓷是在直流激励作用下产生伸缩变化。压电陶瓷因制备工艺及成分比例差异所产生的最大行程不同，但其位移量均属于唯一小位移，甚至纳米尺寸变化。目前能够实现测量设备手段较少，主要有激光干涉仪、扫描隧道显微镜、原子力显微镜，但大部分压电陶瓷产品尺寸较小，设备安装困难，现有技术中的测量方式无法满足微小结构的压电陶瓷高精度测量。因此，本领域技术人员有必要适时提供一种能够满足压电陶瓷位移伸长量的高精度测量、且自动化程度高、操作简便的位移检测装置。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种位移检测装置，能够满足压电陶瓷位移量的高精度测量，并且该装置自动化程度高、操作简便。

为实现上述目的，本申请提供一种位移检测装置，包括：

平台；

第一位移台，可活动地设于平台上，用于沿第一方向运动；

第二位移台，可活动地设于平台上，用于沿第二方向运动，且用于装载压电陶瓷；

第一检测组件，沿第一方向设于第一位移台上，用于检测通电后的压电陶瓷沿第一方向的位移；

位移台组件，可活动地设于平台上，用于沿第一方向和第三方向运动；

第二检测组件，沿第三方向设于位移台组件上，用于检测通电后的压电陶瓷沿第三方向的位移；

电源，用于向压电陶瓷供电；

控制及运算模块，连接第一位移台、第二位移台、位移台组件、第一检测组件、第二检测组件和电源，用于控制第一位移台、第二位移台、位移台组件运动，且用于根据电源输出的电压值、第一检测组件检测到的位移、第二检测组件检测到的位移计算压电陶瓷的位移。

在一些实施例中，位移台组件包括：

第三位移台，可活动地设于平台上，用于沿第一方向运动；

第四位移台，可活动地设于第三位移台上，用于沿第三方向运动，且用于固定第二检测组件。

在一些实施例中，还包括：

第一驱动组件，连接第一位移台和控制及运算模块，用于根据控制及运算模块的指令驱动第一位移台沿第一方向运动；

第二驱动组件，连接第二位移台和控制及运算模块，用于根据控制及运算模块的指令驱动第二位移台沿第二方向运动；

第三驱动组件，连接第三位移台和控制及运算模块，用于根据控制及运算模块的指令驱动第三位移台沿第一方向运动；