[实用新型]一种用于飞秒激光加工柴油喷嘴过程中的穿透感知装置

权利要求书

1.一种用于飞秒激光加工柴油喷嘴过程中的穿透感知装置，其特征在于：包括用于放置被加工件柴油机喷嘴(14)的工作台(15)，所述工作台(15)的上方设有光学模块、聚焦模块、成像及控制模块(1)；

所述光学模块用于发射激光束，所述光学模块包括飞秒激光器(16)和和分光板(9)；所述飞秒激光器(16)发射的激光束经过分光板(9)分光后分成多个加工光路(10)，每条加工光路(10)均延伸到聚焦模块进行聚焦；

所述聚焦模块用于对加工光路(10)进行聚焦，所述聚焦模块包括设置在分光板(9)下方且沿加工光路(10)依次放置的第一聚焦光路凸透镜(11)、聚焦光路凹透镜(12)、第二聚焦光路凸透镜(13)；聚焦后的加工光路(10)到达被加工件柴油机喷嘴(14)上后形成部分的反射光路，反射光路经第二聚焦光路凸透镜(13)、聚焦光路凹透镜(12)和第一聚焦光路凸透镜(11)后，经分光板(9)反射形成监控折射光路进入成像及控制模块(1)；

所述成像及控制模块(1)包括依次设置在分光板(9)一侧的第一成像装置凸透镜(7)、成像装置凹透镜(6)、第二成像装置凸透镜(5)和CCD成像仪(4CCD)；还包括步进电机(3)和工控机(2)；所述CCD成像仪(4CCD)安置在步进电机(3)上，用于沿光轴方向前后移动进行调焦；所述工控机(2)分别与所述CCD成像仪(4CCD)和飞秒激光器(16)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工柴油喷嘴过程中的穿透感知装置，其特征在于：所述分光板(9)为平板。

3.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工柴油喷嘴过程中的穿透感知装置，其特征在于：所述飞秒激光器(16)的激光束波长为1030nm-1064nm。

4.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工柴油喷嘴过程中的穿透感知装置，其特征在于：所述分光板(9)与激光束方向成40～45°的夹角。

5.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工柴油喷嘴过程中的穿透感知装置，其特征在于：所述第一聚焦光路凸透镜(11)与激光束方向垂直；所述第一成像装置凸透镜(7)与监控折射光路方向垂直。

6.根据权利要求1所述的一种用于飞秒激光加工柴油喷嘴过程中的穿透感知装置，其特征在于：所述分光板(9)、第一聚焦光路凸透镜(11)、聚焦光路凹透镜(12)和第二聚焦光路凸透镜(13)的中心线位于同一直线上形成第一光轴；所述分光板(9)、第一成像装置凸透镜(7)、成像装置凹透镜(6)和第二成像装置凸透镜(5)的中心线位于同一直线上形成第二光轴。