[实用新型]密封性测试装置及密封性测试系统

权利要求书

1.一种密封性测试装置，其特征在于，所述密封性测试装置包括：

测试箱，所述测试箱用于放置被测工件；

第一取样组件，所述第一取样组件包括第一腔体、取样阀、载气阀及第一真空阀，所述测试箱通过取样阀与所述第一腔体连通，所述载气阀和所述第一真空阀均与所述第一腔体连通，所述第一真空阀用于连通真空泵，所述载气阀用于连通载气设备；

第二取样组件，所述第二取样组件包括第二腔体、第一控制阀及第二真空阀，所述第二腔体通过所述第一控制阀与所述第一腔体连通，所述第二真空阀与所述第二腔体连通，所述第二真空阀用于连通真空泵；

分析组件，所述分析组件与所述第二腔体连通，所述分析组件用于分析被测物质。

2.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述第二取样组件还包括加热件，所述加热件与所述第一腔体和/或所述第二腔体导热配合，所述加热件用于加热所述第一腔体和/或所述第二腔体内的被测物质。

3.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述第一控制阀为流量控制阀，所述流量控制阀用于控制流经物质的流量和/或流速。

4.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述第二取样组件还包括标样件和标样阀，所述标样件通过标样阀与所述第二腔体连通，所述标样用于所述分析组件的标定。

5.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述分析组件包括分析仪器、取样管及质谱腔体，所述质谱腔体与所述分析仪器连通，所述质谱腔体通过所述取样管与所述第二腔体连通。

6.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述第一取样组件还包括分压件及分压阀，所述分压件通过分压阀连通于所述载气阀与所述第一腔体之间，所述分压件用于定量控制载气和调整压力。

7.根据权利要求6所述的密封性测试装置，其特征在于，所述第一取样组件还包括第二控制阀，所述第二控制阀连通于所述载气阀与所述第一腔体之间，所述第二控制阀用于控制流经物质的流量和/或流速。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的密封性测试装置，其特征在于，所述第一腔体包括罐体与活塞，所述活塞活动连接于所述罐体内，所述活塞用于增大或减小所述罐体的容积。

9.根据权利要求1所述的密封性测试装置，其特征在于，所述密封性测试装置还包括第三取样组件，所述第三取样组件包括第三腔体与第三控制阀，所述第三腔体连通于所述第一腔体与第一控制阀之间，所述第三控制阀连通于所述第一腔体与所述第三腔体之间。

10.一种密封性测试系统，其特征在于，所述密封性测试系统包括真空泵及权利要求1-9中任意一项所述的密封性测试装置，所述真空泵分别与所述第一真空阀和所述第二真空阀连通。