[实用新型]晶圆旋干组件有效
| 申请号： | 202221834013.5 | 申请日： | 2022-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN218545153U | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 黄信淇;简远铭 | 申请（专利权）人： | 敦仪科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B5/08;F26B25/18;F26B25/00;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;王琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹市香*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆旋干 组件 | ||
1.一种晶圆旋干组件，其特征在于，包含：
腔体；
旋转架，设置于所述腔体内，配置以旋干晶圆，所述旋转架包含：
底盘；
顶环，位于所述底盘上方；以及
多个竖板，连接所述底盘以及所述顶环；
至少一个摇篮，设置于所述旋转架中，并配置以容置所述晶圆；以及
多个检知器，设置于所述腔体外，并配置以发射光。
2.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述至少一个摇篮连接所述多个竖板。
3.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述至少一个摇篮的数量为四。
4.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述至少一个摇篮进一步包含壳体，且所述壳体配置以容置承载所述晶圆的晶篮。
5.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述多个检知器进一步包含：
多个晶篮检知器，配置以发射抵达承载所述晶圆的晶篮的底部的光；以及
多个摇篮检知器，配置以发射抵达所述至少一个摇篮的光。
6.根据权利要求5所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述多个晶篮检知器设置于所述多个摇篮检知器上方。
7.根据权利要求5所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述多个晶篮检知器进一步包含多个第一晶篮检知器以及多个第二晶篮检知器，且所述多个第一晶篮检知器设置于所述多个第二晶篮检知器下方。
8.根据权利要求7所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述多个第二晶篮检知器设置于所述多个摇篮检知器上方。
9.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述多个竖板之间连接有多个支撑梁。
10.根据权利要求1所述的晶圆旋干组件，其特征在于，所述至少一个摇篮具有开孔配置以供所述多个检知器发射的所述光通过。
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