[实用新型]晶圆旋干组件

说明书

一种晶圆旋干组件包含腔体、旋转架、至少一个摇篮以及数个检知器。旋转架设置于腔体内并配置以旋干晶圆。旋转架包含底盘、顶环以及数个竖板。顶环位于底盘上方。竖板连接底盘以及顶环。至少一个摇篮设置于旋转架中并配置以容置晶圆。检知器设置于腔体外并配置以发射光。本实用新型的晶圆旋干组件可以避免位于晶篮中的晶圆在旋转架旋转时破损，或造成晶圆旋干机台的其他元件的故障。

技术领域

本实用新型有关于一种晶圆旋干组件。

背景技术

在晶圆的旋干工艺中，将晶圆旋干的最常见的作法是将晶圆放入晶圆旋干机台中，然后再利用晶圆旋干机台中的旋转架使晶圆高速旋转以去除位于晶圆表面的水分。上述用以将晶圆旋干的晶圆旋干机台又分为垂直旋干机以及水平旋干机。在水平旋干机的实施方式中，于旋转架被启动旋转之前，首先晶圆会被置入晶篮中，此承载晶圆的晶篮再置入位于旋转架中的摇篮或摇篮。确定晶篮置入摇篮或摇篮中后，旋转架才允许被启动旋转。

然而，晶圆并非每次都被操作者适当的置入摇篮中。具体来说，即操作者有时未将承载晶圆的晶篮平整的放入摇篮中，此举会造成位于晶篮中的晶圆可能在旋转架旋转时破损，或造成晶圆旋干机台的其他相关元件的损坏。

因此，如何提出一种可解决上述问题的晶圆旋干组件，是目前业界亟欲投入研发资源解决的问题之一。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的一目的在于提出一种可有解决上述问题的晶圆旋干组件。

为了达到上述目的，依据本实用新型的一实施方式，一种晶圆旋干组件包含腔体、旋转架、至少一个摇篮以及数个检知器。旋转架设置于腔体内并配置以旋干晶圆。旋转架包含底盘、顶环以及数个竖板。顶环位于底盘上方。竖板连接底盘以及顶环。至少一个摇篮设置于旋转架中并配置以容置晶圆。检知器设置于腔体外并配置以发射光。

在本实用新型的一或多个实施方式中，至少一个摇篮连接竖板。

在本实用新型的一或多个实施方式中，至少一个摇篮的数量为四。

在本实用新型的一或多个实施方式中，至少一个摇篮还包含壳体，且壳体配置以容置承载晶圆的晶篮。

在本实用新型的一或多个实施方式中，检知器还包含数个晶篮检知器以及数个摇篮检知器。晶篮检知器配置以发射抵达承载晶圆的晶篮的底部的光。摇篮检知器配置以发射抵达至少一个摇篮的光。

在本实用新型的一或多个实施方式中，晶篮检知器设置于摇篮检知器上方。

在本实用新型的一或多个实施方式中，晶篮检知器还包含数个第一晶篮检知器以及数个第二晶篮检知器，且第一晶篮检知器设置于第二晶篮检知器下方。

在本实用新型的一或多个实施方式中，第二晶篮检知器设置于摇篮检知器上方。

在本实用新型的一或多个实施方式中，竖板之间连接有数个支撑梁。

在本实用新型的一或多个实施方式中，至少一个摇篮具有开孔配置以供检知器发射的光通过。

综上所述，在本实用新型的晶圆旋干组件中，由于晶圆旋干组件包含了检知器，使得操作者可以借此确认承载晶圆的晶篮是否被适当地置入摇篮中。在本实用新型的晶圆旋干组件中，通过将检知器设置在腔体外，使得在设置检知器时可以更容易完成检知器布线的工作。在本实用新型的晶圆旋干组件中，由于晶篮检知器发射的光能抵达晶篮的底部，故晶篮检知器可以更准确且直接地检知承载晶圆的晶篮是否置入摇篮，并进一步检知晶篮是否在摇篮中被平整的放置。在本实用新型的晶圆旋干组件中，通过摇篮检知器发射的光能抵达摇篮，故摇篮检知器可以进一步检知承载晶圆的晶篮平整置入摇篮后，摇篮是否被确实定位。本实用新型的晶圆旋干组件可以避免位于晶篮中的晶圆在旋转架旋转时破损，或造成晶圆旋干机台的其他元件的故障。