[实用新型]一种用于半导体长晶机导流桶的对中装置有效

专利信息
申请号: 202221940958.5 申请日: 2022-07-26
公开(公告)号: CN217997402U 公开(公告)日: 2022-12-09
发明(设计)人: 吴泓明;钟佑生;陈志刚;王俊仁;万军召;党晓冬 申请(专利权)人: 郑州合晶硅材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京动力号知识产权代理有限公司 11775 代理人: 张盼
地址: 451162 河南省郑州市郑州航空*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 半导体 长晶机 导流 装置
【权利要求书】:

1.一种用于半导体长晶机导流桶的对中装置,所述导流桶的顶部左、右两侧分别设有用于固定连接所述导流桶的导流桶连接件,所述导流桶连接件的固定连接位置可调节,从而带动所述导流桶移动,使所述导流桶中轴线与长晶机内生长的单晶硅棒中轴线相同,其特征在于,所述对中装置包括对中盘、导流桶替换件、以及对中连接件;

所述对中连接件为两个,分别位于所述对中盘左、右两侧;

所述导流桶替换件连接于所述对中连接件和所述对中盘之间;

所述对中盘的中心位置设有刻度盘;

当所述对中装置使用时,所述对中连接件、所述导流桶替换件以及所述对中盘,替换所述导流桶连接件、所述导流桶;且所述对中连接件的固定连接位置,和所述导流桶连接件的固定连接位置相同,所述导流桶替换件的内壁的上、下两端与所述刻度盘中轴线的距离,和所述导流桶的内壁上、下两端与所述单晶硅棒中轴线的距离相同。

2.如权利要求1所述的用于半导体长晶机导流桶的对中装置,其特征在于,

所述刻度盘上设有环形刻度尺和中心点标志。

3.如权利要求1所述的用于半导体长晶机导流桶的对中装置,其特征在于,

所述导流桶替换件与所述对中连接件、所述对中盘通过螺纹连接。

4.如权利要求3所述的用于半导体长晶机导流桶的对中装置,其特征在于,

所述导流桶连接件上设有用于固定连接的挂孔;所述对中连接件上设有用于固定连接的连接孔;所述挂孔与所述连接孔位置相对应。

5.如权利要求1所述的用于半导体长晶机导流桶的对中装置,其特征在于,

所述导流桶替换件形状、尺寸与所述导流桶完全相同。

6.如权利要求1所述的用于半导体长晶机导流桶的对中装置,其特征在于,

所述导流桶替换件材质为不锈钢。

7.一种应用如权利要求1~6任一项所述的对中装置的半导体长晶机,包括炉体、炉盖以及穿过所述炉盖伸入所述炉体内部的拉丝绳和重锤装置,其特征在于,还包括左、右两个提升装置以及左、右两个提升杆,所述导流桶连接件与相应的所述提升杆的下端固定连接;所述炉盖上设有左、右两个固定支架,所述固定支架和所述提升装置之间设有L型调整座,所述L型调整座包括水平面和竖直面,所述水平面上设有第一长条孔,所述第一长条孔内设有第一固定螺丝,所述竖直面上设有第二长条孔,所述第二长条孔内设有第二固定螺丝,所述第一长条孔和所述第二长条孔的延伸方向垂直,所述水平面通过所述第一长条孔和所述第一固定螺丝与所述固定支架连接,所述竖直面通过第二长条孔和所述第二固定螺丝与所述提升装置连接;

当所述对中装置使用时,所述对中连接件、所述导流桶替换件以及所述对中盘,替换所述导流桶连接件、所述导流桶与所述提升杆连接。

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