[实用新型]一种晶圆旋干机

权利要求书

1.一种晶圆旋干机，其特征在于，包括传动机构和甩干机构，所述传动机构与所述甩干机构相连，所述传动机构能够带动所述甩干机构转动；

所述甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，所述支撑柱为多个且沿所述甩干盘的周向设置，所述卡柱设置于所述支撑柱上用于卡接所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述支撑柱上用于与所述晶圆接触的端面为锥面。

3.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述甩干盘为环形的盘状结构，所述支撑柱设置于所述甩干盘的端面上。

4.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，还包括甩干箱体和支撑箱体，所述甩干机构设置于所述甩干箱体内，所述传动机构设置于所述支撑箱体内；

所述甩干箱体的底板为斜板，所述斜板的较低一侧设置有用于废水排出的排水口。

5.根据权利要求4所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述甩干箱体的底板上设置有环形凸起，所述甩干盘上设置有用于与所述环形凸起相配合的环形凹槽。

6.根据权利要求4所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述传动机构包括驱动机构、齿轮传动机构和转动机构，所述驱动机构通过所述齿轮传动机构与所述转动机构相连。

7.根据权利要求6所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述驱动机构为电机，所述齿轮传动机构包括第一齿轮、第二齿轮和皮带，所述转动机构包括连接轴、传动轴和传动轴壳体；

所述连接轴固定于所述支撑箱体内，所述传动轴套设于所述连接轴上，且所述传动轴能够在所述连接轴上旋转，所述传动轴壳体套设于所述传动轴上，所述第一齿轮设置于所述电机的电机轴上，所述第二齿轮设置于所述传动轴上，所述第一齿轮和所述第二齿轮通过所述皮带连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆旋干机，其特征在于，还包括设置于所述支撑箱体内用于支撑所述传动机构的支撑机构；

所述支撑机构包括第一支撑板，第二支撑板和第三支撑板，所述第一支撑板用于支撑所述电机和所述传动轴壳体，所述第二支撑板和所述第三支撑板分别设置于所述第一支撑板的两端用于支撑所述第一支撑板。

9.根据权利要求8所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述支撑机构还包括设置于所述第一支撑板一侧用于固定所述连接轴的第四支撑板，和设置于所述第四支撑板下部用于支撑所述第四支撑板的第五支撑板。

10.根据权利要求7所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述连接轴的上端头还设置有防水罩，所述防水罩设置于所述甩干盘内部的中空腔体内。