[实用新型]一种用于晶圆探针台的保温装置

权利要求书

1.一种用于晶圆探针台的保温装置，包括晶圆探针台，晶圆探针台的工作台的顶面开设有测试腔，所述测试腔中安装有晶圆盘支架，所述晶圆探针台内设有制冷器以及加热器，其特征在于，

所述工作台上还设置有保温盖，所述保温盖覆盖于所述测试腔上且所述保温盖与所述工作台密封连接，所述保温盖上设置有温度监控装置，所述温度监控装置分别与所述制冷器以及所述加热器电性连接。

2.根据权利要求1所述一种用于晶圆探针台的保温装置，其特征在于，所述工作台上沿着测试腔一圈开设有保护盖卡槽，保护盖卡槽内贴设有硅胶垫，所述保温盖底面贴设有硅胶垫，所述保温盖卡设于所述保护盖卡槽内且两者的硅胶垫相互贴合，所述保护盖以及工作台上安装有配套的锁紧装置，所述锁紧装置将所述保护盖锁紧至工作台的保护盖卡槽内。

3.根据权利要求2所述一种用于晶圆探针台的保温装置，其特征在于，所述保护盖的壁面上开设有连接孔，沿所述连接孔内壁黏贴有一圈保温棉。

4.根据权利要求1所述一种用于晶圆探针台的保温装置，其特征在于，所述温度监控装置设置于所述保温盖内部，且用于检测所述测试腔内的环境温度，所述温度监控装置包括温度传感器、LED显示屏、单片机、蜂鸣器、第一继电器、第二继电器；所述单片机分别与所述温度传感器、所述蜂鸣器、LED显示屏电性连接，所述第一继电器分别与所述制冷器以及所述单片机电性连接，第二继电器与所述加热器以及所述单片机电性连接。

5.根据权利要求4所述一种用于晶圆探针台的保温装置，其特征在于，所述温度传感器为DS18B20智能温度传感器。

6.根据权利要求4所述一种用于晶圆探针台的保温装置，其特征在于，所述单片机为AT89S51型单片机。